MEMS微型可编程光栅技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·衍射光栅 | 第9-10页 |
| ·衍射光栅技术的发展 | 第10-12页 |
| ·传统衍射光栅技术发展 | 第10-11页 |
| ·硅衍射光栅技术 | 第11-12页 |
| ·MEMS微型可编程光栅 | 第12-13页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的国内外发展现状 | 第13-15页 |
| ·本文研究目的与研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 MEMS微型可编程光栅的衍射特性分析 | 第16-28页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·传统光栅的衍射定律 | 第16-18页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的衍射特性分析 | 第18-23页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的工作原理 | 第18-19页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的衍射理论分析 | 第19-23页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的衍射特性仿真 | 第23-27页 |
| ·光栅衍射单元间干涉因子的影响 | 第23-25页 |
| ·微梁间干涉因子的影响 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 MEMS微型可编程光栅结构的优化设计 | 第28-46页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·MEMS静电驱动器 | 第28-29页 |
| ·微型可编程光栅的梁结构位移特性分析 | 第29-37页 |
| ·单电极静电驱动微变形梁 | 第29-30页 |
| ·双电极静电驱动微变形梁 | 第30-31页 |
| ·杠杆弯曲原理 | 第31-32页 |
| ·双电极驱动微变形梁的位移特性分析 | 第32-37页 |
| ·微型可编程光栅结构仿真分析 | 第37-45页 |
| ·有限元耦合场分析 | 第37-40页 |
| ·微变形梁基本参数的确定 | 第40页 |
| ·电极长度对微变形梁的影响 | 第40-43页 |
| ·残余应力对静电驱动微变形梁的影响 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 微型可编程光栅的机械性能分析 | 第46-61页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·模态分析 | 第46-49页 |
| ·瞬态分析 | 第49-56页 |
| ·静电驱动梁的瞬态分析模型 | 第49-53页 |
| ·瞬态阶跃响应分析 | 第53-56页 |
| ·瞬态回复 | 第56-60页 |
| ·瞬态回复过程分析 | 第56-58页 |
| ·瞬态回复中阻尼衰减时间与微变形梁宽度的关系 | 第58-59页 |
| ·瞬态回复振动频率f与梁的长度L的关系 | 第59-60页 |
| ·本章小节 | 第60-61页 |
| 第五章 微型可编程光栅的工艺与版图设计 | 第61-73页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·微机械表面加工工艺 | 第61-65页 |
| ·微机械表面加工工艺的流程与特点 | 第63-64页 |
| ·MUMPS工艺与SUMMiT工艺 | 第64-65页 |
| ·微型可编程光栅的工艺与版图设计 | 第65-71页 |
| ·微型可编程光栅的工艺设计 | 第65-67页 |
| ·微型可编程光栅的版图设计 | 第67-71页 |
| ·微型可编程光栅的加工 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 总结与展望 | 第73-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第80页 |
| 参加科研项目情况 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 西北工业大学 学位论文知识产权声明书 | 第82页 |
| 西北工业大学 学位论文原创性声明 | 第82页 |
