基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·基于MEMS的微致动器 | 第8-10页 |
| ·MEMS技术及其发展概况 | 第8-9页 |
| ·微致动器 | 第9-10页 |
| ·MEMS微致动器流动控制技术的国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·论文的内容和意义 | 第13-14页 |
| 第二章 碟翼飞行器的气动特性研究 | 第14-29页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·边界层理论及其控制 | 第14-20页 |
| ·微型飞行器的低雷诺数特征 | 第20-22页 |
| ·碟翼(DISC-WING)的气动特征研究 | 第22-28页 |
| ·碟翼各参数对其气动性能的影响 | 第22-26页 |
| ·低雷诺小攻角碟翼的边界层分离 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 电磁式微致动器结构设计 | 第29-43页 |
| ·电磁式致动器驱动原理 | 第29-30页 |
| ·平面线圈结构设计 | 第30-36页 |
| ·单个圆形平面线圈磁场分析 | 第30-33页 |
| ·N匝平面线圈磁场分析 | 第33-34页 |
| ·磁体受力分析 | 第34-36页 |
| ·悬臂梁结构的设计 | 第36-42页 |
| ·悬臂梁的数学建模 | 第36-37页 |
| ·悬臂梁材料选择 | 第37-38页 |
| ·悬臂梁变形数值模拟 | 第38-40页 |
| ·悬臂梁变形的有限元分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 微致动器工艺流程 | 第43-48页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第43页 |
| ·悬臂梁式微致动器线圈结构工艺设计 | 第43-45页 |
| ·微致动器悬臂梁工艺设计 | 第45-46页 |
| ·键合工艺 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 微致动器阵列对碟翼的气动控制仿真 | 第48-58页 |
| ·微致动器用于气动控制的原理 | 第48-50页 |
| ·微致动器阵列对碟形翼的三轴控制机理 | 第50-53页 |
| ·翻滚控制 | 第50-51页 |
| ·俯仰控制 | 第51-52页 |
| ·偏航控制 | 第52-53页 |
| ·碟翼有限元仿真分析 | 第53-57页 |
| ·模型的建立 | 第53-54页 |
| ·前置处理 | 第54-55页 |
| ·仿真结果 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 西北工业大学 学位论文知识产权声明书 | 第66页 |
| 西北工业大学 学位论文原创性声明 | 第66页 |
