| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·超精密加工的发展及其关键技术研究 | 第11-14页 |
| ·超精密加工技术的发展 | 第11-13页 |
| ·超精密加工的关键技术 | 第13-14页 |
| ·Robust控制理论的发展及其应用 | 第14-21页 |
| ·Robust控制理论的发展 | 第15-20页 |
| ·鲁棒控制的应用及时滞系统的鲁棒控制 | 第20-21页 |
| ·本课题提出及论文总体安排 | 第21-23页 |
| 第二章 大进给力纳米级驱动部件系统分析与设计 | 第23-32页 |
| ·超精密加工微位移机构简介 | 第23-24页 |
| ·基于热变形的 Robust控制方案设计 | 第24-29页 |
| ·基于热变形驱动方案的理论基础 | 第25-27页 |
| ·Robust控制方案的应用分析 | 第27-29页 |
| ·纳米级进给系统的总体结构 | 第29-31页 |
| ·硬件电路的设计 | 第29-30页 |
| ·基于 PC机和单片机的硬件设计方案 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 驱动部件数学模型的建立及控制算法研究 | 第32-52页 |
| ·热传导偏微分方程的简化 | 第32-33页 |
| ·数学模型的建立 | 第33-39页 |
| ·参数模型的实验确定 | 第33-35页 |
| ·模型中干扰抑制问题及时滞分析 | 第35-37页 |
| ·数学模型的建立 | 第37-39页 |
| ·基于 Riccati方程的纳米级驱动部件干扰抑制问题研究 | 第39-46页 |
| ·基于纳米级驱动部件提出了一般系统描述 | 第39-43页 |
| ·在 Riccati方程方法的基础上，提出了干扰抑制问题的设计方案及建立的理论 | 第43-46页 |
| ·基于Riccati方程的具有时滞的纳米级驱动部件系统的H_∞控制 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 实验数据分析及仿真 | 第52-65页 |
| ·恒功率驱动的热平衡实验及其拟合曲线分析 | 第52-58页 |
| ·输入功率变动时的纳米级驱动系统干扰抑制问题分析及实验仿真 | 第58-60页 |
| ·输入功率变动时的纳米级驱动系统时滞问题分析及实验仿真 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论和展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研论文 | 第73页 |
