微结构的静电驱动特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·微机电系统 | 第11-14页 |
| ·微机电系统的定义及特点 | 第11-12页 |
| ·微机电系统的应用 | 第12-13页 |
| ·微机电系统研究现状 | 第13-14页 |
| ·微机电系统相关技术 | 第14页 |
| ·静电力和典型静电驱动微器件 | 第14-17页 |
| ·静电力 | 第15页 |
| ·静电驱动典型微器件 | 第15-17页 |
| ·静电驱动微结构研究现状 | 第17-18页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第18页 |
| ·论文的主要工作 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-23页 |
| 第二章 微结构静电力计算 | 第23-39页 |
| ·微结构静电力概述 | 第23页 |
| ·平行板电极间静电力计算 | 第23-29页 |
| ·无限大平行板电极间静电力计算 | 第23-25页 |
| ·梁结构平行板电极间静电力计算 | 第25-27页 |
| ·平行板电极静电力模拟计算 | 第27-28页 |
| ·矩形、圆形平行板电极静电力计算 | 第28-29页 |
| ·倾斜极板间静电力和静电力矩的计算 | 第29-34页 |
| ·复变函数解 | 第29-31页 |
| ·无限大平行板静电力模型求解 | 第31-33页 |
| ·误差分析 | 第33-34页 |
| ·微镜静电扭矩的计算 | 第34-35页 |
| ·梳齿结构的静电力 | 第35-37页 |
| ·小结 | 第37页 |
| 参考文献 | 第37-39页 |
| 第三章 针尖结构静电力计算 | 第39-55页 |
| ·扫描探针针尖概述 | 第39-40页 |
| ·针尖与试样间静电场假设 | 第40页 |
| ·针尖静电力解析模型 | 第40-45页 |
| ·圆锥部分静电力计算 | 第40-42页 |
| ·球冠部分静电力计算 | 第42-44页 |
| ·针尖总的静电力 | 第44-45页 |
| ·针尖静电力仿真计算 | 第45-47页 |
| ·针尖静电力模型介绍 | 第47-50页 |
| ·球模型 | 第47页 |
| ·单电荷模型 | 第47页 |
| ·刀锋模型 | 第47页 |
| ·纯锥体模型 | 第47-48页 |
| ·平面模型 | 第48页 |
| ·均匀带电线模型 | 第48页 |
| ·等效电荷分布模型 | 第48-49页 |
| ·有限元模型 | 第49-50页 |
| ·针尖静电力计算模型对比 | 第50-51页 |
| ·关于针尖电场假设 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 第四章 静电驱动微结构的静力分析 | 第55-83页 |
| ·概述 | 第55页 |
| ·静电驱动的特性——吸合效应 | 第55-58页 |
| ·静电驱动微梁静力分析 | 第58-67页 |
| ·微梁变形计算的数值方法 | 第58-61页 |
| ·微梁变形计算的解析方法 | 第61-62页 |
| ·解析公式的修正 | 第62-63页 |
| ·算例分析 | 第63-64页 |
| ·微梁的大挠度变形 | 第64-67页 |
| ·静电驱动圆形薄板变形计算 | 第67-74页 |
| ·均布载荷作用圆形薄板挠度 | 第68页 |
| ·均布载荷作用中间有凸台的圆形薄板变形计算 | 第68-70页 |
| ·静电驱动有凸台的圆形薄板变形计算 | 第70-71页 |
| ·静电驱动圆形薄板变形计算 | 第71-74页 |
| ·静电驱动微镜静力学计算 | 第74-77页 |
| ·微镜静态方程 | 第74-75页 |
| ·微镜的临界电压与临界转角 | 第75-77页 |
| ·静电作用扫描探针静力学计算 | 第77-79页 |
| ·小结 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 第五章 静电驱动微结构的动力分析 | 第83-105页 |
| ·概述 | 第83页 |
| ·气膜阻尼 | 第83-89页 |
| ·圆形平板间的气膜阻尼 | 第85-86页 |
| ·矩形平板间的气膜阻尼 | 第86-87页 |
| ·气体可压缩性对阻尼的影响 | 第87-89页 |
| ·静电驱动扭转微镜的振动分析 | 第89-92页 |
| ·扭转微镜的动力学控制方程 | 第90-91页 |
| ·扭转微镜的动力学仿真计算 | 第91-92页 |
| ·静电驱动有凸台圆形薄板的振动分析 | 第92-93页 |
| ·静电驱动微梁的振动分析 | 第93-99页 |
| ·时变载荷作用于微梁的振动响应 | 第94-95页 |
| ·静电驱动微梁的振动响应 | 第95-96页 |
| ·静电驱动微梁振动响应算例 | 第96-98页 |
| ·气膜阻尼作用下求解微梁振动 | 第98-99页 |
| ·静电力作用扫描探针的振动分析 | 第99-101页 |
| ·探针动力学方程 | 第100-101页 |
| ·探针动力学仿真计算 | 第101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-105页 |
| 第六章 静电微加速度开关设计与分析 | 第105-125页 |
| ·概述 | 第105页 |
| ·触点的电接触问题 | 第105-107页 |
| ·电接触的基础理论 | 第106页 |
| ·微开关触点的接触电阻 | 第106-107页 |
| ·微加速度开关的静态设计 | 第107-115页 |
| ·开关的相关参数 | 第107-108页 |
| ·敏感质量块所受的力 | 第108-109页 |
| ·关于开关的尺度 | 第109页 |
| ·开关的静态性能参数设计 | 第109-112页 |
| ·开关的结构参数设计 | 第112-115页 |
| ·加速度开关的动态设计与分析 | 第115-121页 |
| ·阻尼的设计与计算 | 第115-116页 |
| ·触点接触变形 | 第116-117页 |
| ·开关的系统动力学建模 | 第117-118页 |
| ·加速度开关的系统动力学仿真 | 第118-120页 |
| ·干扰对系统性能的影响 | 第120-121页 |
| ·开关系统参数与结构 | 第121-122页 |
| ·小结 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-125页 |
| 第七章 总结与展望 | 第125-127页 |
| ·主要工作与结论 | 第125-126页 |
| ·本文工作的主要创新点 | 第126页 |
| ·工作展望 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-129页 |
| 在读期间的研究成果 | 第129-130页 |
