| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 符号列表 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-27页 |
| ·课题的研究背景 | 第16-17页 |
| ·微致动器的研究现状 | 第17-25页 |
| ·微尺度机械设计理论与制造发展现状 | 第17-20页 |
| ·微致动器的分类及研究状况 | 第20-22页 |
| ·微热致动器的研究状况 | 第22-25页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 V 型电热硅微致动器的设计与制造 | 第27-35页 |
| ·V 型电热硅微致动器的设计 | 第27-29页 |
| ·V 型电热硅微致动器的制造 | 第29-32页 |
| ·电热硅微致动器设计、制造与工艺的关系 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 V 型电热硅微致动器驱动机理及其静态特性研究 | 第35-47页 |
| ·V 型电热硅微致动器静态力学模型建立 | 第35-40页 |
| ·V 型电热硅微致动器静态特性研究 | 第40-46页 |
| ·输出力与输出位移的的关系 | 第40-41页 |
| ·最大输出位移与温度的关系 | 第41-42页 |
| ·最大输出位移与结构参数的关系 | 第42-44页 |
| ·最大输出位移与电参数的关系 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第四章 V 型电热硅微致动器结构固有频率特性 | 第47-60页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·V 型电热硅微致动器结构振动力学模型 | 第47-51页 |
| ·V 型电热硅微致动器斜梁热弹性应力分析 | 第47-48页 |
| ·弯曲振动微分方程 | 第48-50页 |
| ·弯曲振动的机电耦合模型 | 第50-51页 |
| ·边界条件与初始条件 | 第51页 |
| ·硅微斜梁自由弯曲振动及其自然模态分析 | 第51-56页 |
| ·结构参数对硅微致动器固有频率的影响 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 V 型电热硅微致动器性能试验研究 | 第60-85页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·微机械实验系统的建立 | 第60-64页 |
| ·微机械实验测试系统的组成和工作原理 | 第60-61页 |
| ·硅微机械可动构件微小位移测量方法 | 第61-64页 |
| ·V 型电热硅微致动器输出力的测量 | 第64页 |
| ·V 型电热硅微致动器静态特性试验 | 第64-73页 |
| ·硅微致动器电阻特性 | 第64-68页 |
| ·硅微致动器最大输出位移——电压特性 | 第68-71页 |
| ·硅微致动器最大输出位移——功率特性 | 第71-72页 |
| ·硅微致动器输出力——电压特性 | 第72-73页 |
| ·硅微致动器输出力—位移特性 | 第73页 |
| ·V 型电热硅微致动器动态性能试验研究 | 第73-83页 |
| ·测试方案介绍 | 第73-78页 |
| ·硅微致动器对不同激励响应的测量结果 | 第78-81页 |
| ·微致动器驱动电压频率——电流特性测量 | 第81-83页 |
| ·硅微致动器疲劳特性测量 | 第83页 |
| ·小结 | 第83-85页 |
| 第六章 硅微柔性铰链研究 | 第85-95页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·硅微柔性铰链的设计与仿真分析 | 第85-89页 |
| ·硅微机械柔性铰链试验研究 | 第89-93页 |
| ·硅微柔性铰链的机械性能 | 第93-94页 |
| ·小结 | 第94-95页 |
| 第七章 V 型电热硅微致动器在微机械中的应用 | 第95-104页 |
| ·引言 | 第95页 |
| ·多晶硅薄膜微夹钳试验研究 | 第95-99页 |
| ·V 型电热硅微致动器驱动的多晶硅薄膜微夹钳工作原理 | 第95-97页 |
| ·夹钳夹持位移与驱动电压的关系 | 第97-98页 |
| ·夹钳夹持位移与驱动力的关系 | 第98页 |
| ·夹钳夹持位移与驱动功率的关系 | 第98-99页 |
| ·中深宽比单晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳 | 第99-103页 |
| ·中深宽比单晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳的设计 | 第99-100页 |
| ·柔性铰支承杠杆式微夹钳性能试验研究 | 第100-103页 |
| ·小结 | 第103-104页 |
| 第八章 结论与展望 | 第104-108页 |
| ·结论 | 第104-106页 |
| ·展望 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-114页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文及申请专利、完成项目情况 | 第114-116页 |
| 作者在攻读博士学位期间获奖情况 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 博士学位论文同意发表声明 | 第118-119页 |
| 发表意见书 | 第119页 |
