面向仿生微纳导航系统的偏振器研究
| 独创性说明 | 第1-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·偏振光的有关概念 | 第8-9页 |
| ·偏振器概论 | 第9-13页 |
| ·偏振器的定义 | 第9页 |
| ·偏振器的类型 | 第9-13页 |
| ·金属光栅偏振器 | 第13-15页 |
| ·光栅的历史与应用 | 第13-14页 |
| ·亚波长光栅的理论分析方法 | 第14-15页 |
| ·偏光膜 | 第15-21页 |
| ·偏光膜起源 | 第15-16页 |
| ·偏光膜工作原理 | 第16-17页 |
| ·偏光膜制造工艺及结构 | 第17-18页 |
| ·偏光膜种类 | 第18-20页 |
| ·偏光膜性能指标 | 第20-21页 |
| ·选题意义及论文的主要工作 | 第21-23页 |
| ·选题意义 | 第21-22页 |
| ·论文主要工作 | 第22-23页 |
| 2 亚波长金属光栅设计分析 | 第23-33页 |
| ·光栅材料对 TM偏振透射率和消光比的影响 | 第24-25页 |
| ·光栅面型对 TM偏振透射率和消光比的影响 | 第25页 |
| ·光栅周期对 TM偏振透射率和消光比的影响 | 第25-28页 |
| ·光栅占空比对 TM偏振透射率和消光比的影响 | 第28-29页 |
| ·光栅深度对 TM偏振透射率和消光比的影响 | 第29页 |
| ·氟化镁介质/金属光栅的性能 | 第29-33页 |
| 3 偏光膜力学性能分析 | 第33-42页 |
| ·高聚物的粘弹性 | 第33页 |
| ·应力松弛 | 第33-34页 |
| ·应力松弛模型的选择与建立 | 第34-37页 |
| ·Maxwell模型 | 第34-35页 |
| ·Maxwell模型的应力松弛 | 第35页 |
| ·力学模型的普适形式 | 第35-37页 |
| ·偏光膜拉伸有限元模型和有限元分析 | 第37-42页 |
| ·有限元法 | 第37-38页 |
| ·MSC.Marc简介 | 第38页 |
| ·偏光膜拉伸有限元模拟 | 第38-42页 |
| 4 偏光膜制作与测试 | 第42-57页 |
| ·传统偏光膜的制作工艺 | 第42-44页 |
| ·实验用偏光膜的制备 | 第44-45页 |
| ·透光率的测定 | 第45-46页 |
| ·检测仪器简介 | 第45-46页 |
| ·透光率的测定方法 | 第46页 |
| ·偏振度的计算 | 第46-48页 |
| ·偏光膜表面形态的观察 | 第48页 |
| ·偏光膜的光学性能 | 第48-57页 |
| ·偏光膜的光学特性 | 第48-49页 |
| ·透光率与偏振度测试结果及分析 | 第49-57页 |
| 5 偏光膜光刻工艺 | 第57-66页 |
| ·引言 | 第57-58页 |
| ·二维偏光膜的制作 | 第58-66页 |
| ·光刻工艺 | 第59-60页 |
| ·涂胶 | 第60-61页 |
| ·前烘 | 第61页 |
| ·曝光 | 第61-63页 |
| ·显影和漂洗 | 第63页 |
| ·二维偏光膜 | 第63-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第71页 |
