| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·纳机电系统概述 | 第7-11页 |
| ·纳机电系统的概念 | 第7-8页 |
| ·纳机电系统的特性 | 第8-10页 |
| ·纳机电系统的应用 | 第10-11页 |
| ·纳机电系统测试技术国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·NEMS 器件的静态形貌测试 | 第11-12页 |
| ·NEMS 器件的机械力学特性测试 | 第12-13页 |
| ·NEMS 器件的运动特性测试 | 第13-14页 |
| ·NEMS 器件的可靠性测试 | 第14-15页 |
| ·选题背景与论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 基于纳米压痕测试技术的纳米薄膜机械力学特性的表征方法 | 第17-33页 |
| ·纳米压痕技术的基本原理 | 第17-26页 |
| ·纳米压痕测试的压针类型 | 第17-19页 |
| ·纳米压痕法的主要测试参数 | 第19-25页 |
| ·纳米压痕测试的基本原则 | 第25-26页 |
| ·基于 AFM 的纳米压痕测试方法 | 第26-30页 |
| ·AFM 的纳米压痕模块及其工作模式 | 第26-27页 |
| ·基于AFM 的纳米压痕测试步骤 | 第27-29页 |
| ·基于AFM 的纳米压痕数据处理 | 第29-30页 |
| ·基于AFM 的纳米压痕实验结果和讨论 | 第30-33页 |
| ·氮化硅薄膜测试结构的加工工艺 | 第30页 |
| ·基于AFM 的纳米压痕测试结果 | 第30-33页 |
| 第三章 基于弯曲测试技术的纳米梁机械力学特性的表征方法 | 第33-55页 |
| ·弯曲测试理论模型 | 第33-35页 |
| ·杨氏模量 | 第33-34页 |
| ·断裂应力 | 第34页 |
| ·断裂韧度 | 第34-35页 |
| ·基于有限元方法的弯曲测试的仿真 | 第35-39页 |
| ·加载点对弯曲测试结果的影响 | 第36-37页 |
| ·薄膜内应力对弯曲测试结果的影响 | 第37-39页 |
| ·基于AFM 的弯曲测试方法 | 第39-44页 |
| ·弯曲测试中AFM 微悬臂梁探针的选择和弹簧常数的标定 | 第39-43页 |
| ·基于AFM 的弯曲测试步骤 | 第43页 |
| ·基于AFM 的弯曲测试数据处理 | 第43-44页 |
| ·基于AFM 的弯曲测试实验结果和讨论 | 第44-55页 |
| ·氮化硅纳米梁测试结构的加工工艺 | 第44-46页 |
| ·氮化硅和硅纳米梁弯曲测试结果 | 第46-55页 |
| 第四章 基于显微激光多普勒和AFM 的纳米梁谐振器振动特性的表征方法 | 第55-80页 |
| ·静电激励纳米梁谐振器等效模型 | 第55-58页 |
| ·静电激励纳米梁谐振器的电学等效模型 | 第55-56页 |
| ·静电激励纳米梁谐振器的机械等效模型 | 第56-57页 |
| ·纳米梁谐振器受到的静电力与静电激励的关系 | 第57-58页 |
| ·基于显微激光多普勒测振仪的纳米测振技术的原理和方法 | 第58-62页 |
| ·激光多普勒测量振动的原理 | 第59-60页 |
| ·显微激光多普勒测量系统 | 第60-62页 |
| ·基于AFM 的纳米测振技术的原理和方法 | 第62-71页 |
| ·梁的横向振动微分方程 | 第63-66页 |
| ·AFM 接触模式下微悬臂梁针尖-振动表面相互作用模型 | 第66-69页 |
| ·AFM 轻敲模式下微悬臂梁针尖-振动表面相互作用模型 | 第69-70页 |
| ·基于AFM 测量样品表面振动的方法 | 第70-71页 |
| ·实验结果和讨论 | 第71-79页 |
| ·静电激励纳米梁谐振器测试结构的加工工艺 | 第71-72页 |
| ·基于显微激光多普勒测振系统的测试结果 | 第72-77页 |
| ·基于AFM 的测振技术对被测样品的要求 | 第77-79页 |
| ·基于 AFM 与基于显微激光多普勒的测振技术的比较 | 第79-80页 |
| 第五章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的文章及所从事的科研项目 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
