| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 插图 | 第8-10页 |
| 表格 | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·研究背景和意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·高Q值陀螺的设计 | 第12-13页 |
| ·陀螺软件补偿技术 | 第13-15页 |
| ·本论文的技术方案 | 第15-16页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微陀螺理论基础 | 第17-31页 |
| ·科氏效应振动式陀螺基本原理 | 第17-19页 |
| ·振动式微陀螺分类 | 第19-22页 |
| ·驱动模态在平面内、检测模态在平面外(X、Y轴陀螺) | 第19-21页 |
| ·驱动模态和检测模态均在平面内(Z轴陀螺) | 第21-22页 |
| ·微陀螺关键部件 | 第22-28页 |
| ·电容器 | 第22-26页 |
| ·挠性粱 | 第26-27页 |
| ·解耦结构 | 第27-28页 |
| ·微陀螺的设计方法 | 第28-30页 |
| ·设计准测 | 第28页 |
| ·集成设计方法 | 第28-29页 |
| ·MEMS Garden集成设计平台 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 虚拟陀螺硬件设计 | 第31-53页 |
| ·陀螺结构方案 | 第31-33页 |
| ·需求分析 | 第31-32页 |
| ·方案制定 | 第32-33页 |
| ·系统级分析 | 第33-37页 |
| ·频域分析 | 第34-35页 |
| ·时域分析 | 第35-36页 |
| ·Pull-in验证 | 第36页 |
| ·陀螺结构参数确定 | 第36-37页 |
| ·器件级分析 | 第37-44页 |
| ·谐振频率和刚度系数 | 第37-39页 |
| ·阻尼和品质因数(Q) | 第39-42页 |
| ·检测模态中心电容 | 第42-43页 |
| ·机械灵敏度 | 第43-44页 |
| ·性能参数总结 | 第44页 |
| ·工艺级分析 | 第44-51页 |
| ·加工工艺简介 | 第45-46页 |
| ·陀螺版图制作 | 第46-48页 |
| ·工艺级几何仿真 | 第48-51页 |
| ·陀螺测试结果 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 微陀螺随机误差建模 | 第53-66页 |
| ·误差源分类 | 第53-54页 |
| ·随机误差模型与常见的建模方法 | 第54-56页 |
| ·随机误差模型 | 第54-55页 |
| ·随机误差建模方法 | 第55-56页 |
| ·Allan方差建模方法 | 第56-59页 |
| ·Allan方差计算方法 | 第56-57页 |
| ·陀螺各项随机误差的辨识 | 第57-59页 |
| ·Allan方差计算时的注意事项 | 第59页 |
| ·随机误差建模实验 | 第59-65页 |
| ·随机误差模型和建模平台的验证 | 第59-63页 |
| ·微陀螺随机误差建模实验 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 虚拟陀螺软件滤波器设计 | 第66-79页 |
| ·滤波算法和仿真平台选型 | 第66-67页 |
| ·卡尔曼滤波理论基础 | 第67-71页 |
| ·最小方差估计理论 | 第67-68页 |
| ·连续系统的离散化 | 第68-69页 |
| ·离散型卡尔曼滤波基本方程 | 第69-71页 |
| ·滤波器设计 | 第71-74页 |
| ·虚拟陀螺实验 | 第74-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第6章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 附录 虚拟陀螺滤波器Simulink流程图 | 第84-89页 |
| 硕士期间发表的论文及参与的课题 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 西北工业大学 学位论文知识产权声明书 | 第91页 |
| 西北工业大学学位论文原创性声明 | 第91页 |