横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究

摘要	第1-8页
ABSTRACT	第8-10页
目录	第10-13页
文中主要符号列表	第13-16页
第一章 绪论	第16-26页
·微型机电系统	第16-18页
·微型机电系统特点	第16-17页
·发展现状及研究意义	第17-18页
·横向梳状硅微静电谐振器	第18-24页
·研究意义	第18-19页
·国内外研究概况	第19-23页
·研究中急待解决的问题	第23-24页
·主要研究内容	第24-26页
第二章 横向梳状硅微静电谐振器建模的基础理论	第26-38页
·微谐振器所受静电力分析	第26-29页
·恒定电压作用下的静电力	第27-28页
·正弦交流电压作用下的静电力	第28-29页
·微谐振器所受空气阻尼分析	第29-33页
·常用的阻尼模型	第29-30页
·微谐振器所受阻尼分析	第30-33页
·微谐振器在正弦驱动电压下的谐响应分析	第33-37页
·微谐振器的动力学微分方程	第33-34页
·正弦驱动电压作用下的运动方程求解	第34-36页
·系统谐响应分析	第36-37页
·本章小结	第37-38页
第三章 复杂支撑梁硅微静电谐振器建模及性能分析	第38-64页
·引言	第38-39页
·基于对称变换的方法	第39-44页
·对称变换方法提出	第39-42页
·对称变换方法的实例验证	第42-44页
·对称变换方法小结	第44页
·基于对称变换理论的弓型梁谐振器建模	第44-55页
·谐振器结构简介	第45页
·各单元模型的建立	第45-49页
·谐振器力学模型	第49-50页
·谐振器谐振频率	第50-52页
·与文献[49]中实验情况对比	第52-54页
·谐振器性能分析	第54-55页
·基于对称变换理论的多折叠梁谐振器建模	第55-62页
·谐振器结构简介	第55-57页
·梁单元模型的建立	第57-58页
·谐振器力学模型	第58-59页
·谐振器谐振频率	第59-60页
·谐振器性能分析	第60-62页
·本章小结	第62-64页
第四章 微谐振器的加工工艺及设计	第64-78页
·表面硅微加工工艺	第64-68页
·表面硅微加工工艺流程	第64-67页
·表面硅微加工工艺加工误差分析	第67-68页
·体硅微加工工艺	第68-70页
·体硅微加工工艺流程	第68-70页
·体硅微加工工艺的加工误差分析	第70页
·微谐振器设计中相关问题探讨	第70-72页
·谐振器标尺的设计	第70-72页
·新型防撞块的设计和改进	第72页
·表面硅微加工工艺的谐振器设计	第72-75页
·体硅微加工工艺的谐振器设计	第75-77页
·本章小结	第77-78页
第五章 微谐振器性能的有限元分析	第78-86页
·引言	第78-79页
·微谐振器的ANSYS性能模拟与讨论	第79-84页
·本章小结	第84-86页
第六章 微谐振器实验研究及模型验证	第86-107页
·实验装置及测试原理	第86-87页
·表面硅微谐振器实验	第87-93页
·幅频特性实验	第88-91页
·振幅——电压关系实验	第91-93页
·体硅弹性模量的谐振法测定	第93-94页
·体硅微谐振器性能实验	第94-102页
·幅频特性测定实验	第94-98页
·振幅电压比测定实验	第98-102页
·体硅谐振器品质因子和振幅电压比讨论	第102-105页
·半经验公式建立依据	第102-103页
·半经验公式的建立	第103页
·半经验公式的验证	第103-105页
·本章小结	第105-107页
第七章 微谐振器设计模块在IMEE软件系统中应用	第107-115页
·引言	第107-108页
·微谐振器设计模块及编程	第108-111页
·微谐振器设计模块框架设计	第108-109页
·微谐振器设计模块程序设计	第109-111页
·微谐振器设计实例	第111-114页
·本章小结	第114-115页
第八章 主要结论与展望	第115-118页
·主要结论	第115-116页
·展望	第116-118页
参考文献	第118-124页
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文	第124-126页
作者在攻读博士学位期间参与完成的项目	第126-127页
致谢	第127页