| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-14页 |
| 1 绪论 | 第14-22页 |
| 1．1 本文研究的背景、来源和意义 | 第14-16页 |
| 1．2 国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1．3 位移传感器技术的发展 | 第17-20页 |
| 1．4 市场前景分析 | 第20-21页 |
| 1．5 本文研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 2 基于电气制导与误差修正的几何量计量新方法 | 第22-32页 |
| 2．1 传统几何量计量方法概述 | 第22页 |
| 2．2 位移传感器计量原理 | 第22-29页 |
| 2．2．1 光栅传感器 | 第22-24页 |
| 2．2．2 感应同步器 | 第24-26页 |
| 2．2．3 磁栅式传感器 | 第26-27页 |
| 2．2．4 容栅传感器 | 第27-28页 |
| 2．2．5 码盘式传感器 | 第28-29页 |
| 2．3 几何量计量新方法 | 第29-31页 |
| 2．3．1 电气制导与电子校正 | 第29-30页 |
| 2．3．2 圆分度全息误差修正 | 第30页 |
| 2．3．3 计量基准补偿 | 第30-31页 |
| 2．4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 几何量计量误差理论 | 第32-48页 |
| 3．1 误差的基本性质与处理 | 第32-43页 |
| 3．1．1 误差定义、来源及分类 | 第32-33页 |
| 3．1．2 随机误差 | 第33-36页 |
| 3．1．3 系统误差 | 第36-41页 |
| 3．1．4 粗大误差 | 第41-43页 |
| 3．2 误差的合成 | 第43-46页 |
| 3．2．1 随机误差的合成 | 第43-44页 |
| 3．2．2 系统误差的合成 | 第44-45页 |
| 3．2．3 不同性质误差的合成 | 第45-46页 |
| 3．3 微小误差取舍准则 | 第46-47页 |
| 3．4 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 三种新型栅式智能位移传感器研究 | 第48-68页 |
| 4．1 引言 | 第48页 |
| 4．2 时栅位移传感器 | 第48-56页 |
| 4．2．1 时空坐标转换理论 | 第48-51页 |
| 4．2．2 时栅工作原理 | 第51-56页 |
| 4．3 差线栅位移传感器 | 第56-61页 |
| 4．3．1 研究思想 | 第56-57页 |
| 4．3．2 测量中的放大测微、插值与细分 | 第57-58页 |
| 4．3．3 差线栅工作原理 | 第58-61页 |
| 4．4 激光栅位移传感器 | 第61-66页 |
| 4．5 本章小结 | 第66-68页 |
| 5 高精度时栅智能位移传感器实验研究 | 第68-118页 |
| 5．1 引言 | 第68页 |
| 5．2 实验系统设计 | 第68-69页 |
| 5．3 高精度三相交流稳压电源研制 | 第69-74页 |
| 5．3．1 电源频率选择与数论 | 第69-71页 |
| 5．3．2 电源设计 | 第71-74页 |
| 5．4 硬件电路设计 | 第74-80页 |
| 5．4．1 电路原理 | 第74-75页 |
| 5．4．2 信号调理电路 | 第75-76页 |
| 5．4．3 数字信号处理电路 | 第76-79页 |
| 5．4．4 数码显示电路 | 第79页 |
| 5．4．5 电磁兼容设计 | 第79-80页 |
| 5．5 软件设计 | 第80-82页 |
| 5．6 提高传感器性能的方法 | 第82-85页 |
| 5．7 传感器非线性自修正技术 | 第85-92页 |
| 5．7．1 查表法 | 第85-88页 |
| 5．7．2 曲线拟合法 | 第88-90页 |
| 5．7．3 函数神经网络法 | 第90-92页 |
| 5．8 稳定性实验 | 第92-103页 |
| 5．8．1 自补偿实验 | 第92-94页 |
| 5．8．2 单测头与多测头测量对比实验 | 第94-96页 |
| 5．8．3 量化误差与随机误差分析与实验 | 第96-100页 |
| 5．8．4 提高稳定性算法研究 | 第100-103页 |
| 5．9 精度实验 | 第103-114页 |
| 5．9．1 电子校正实验 | 第103-106页 |
| 5．9．2 多位置测头误差分离与傅氏级数谐波修正实验 | 第106-114页 |
| 5．10 误差来源分析 | 第114-116页 |
| 5．11 时栅精度 | 第116-117页 |
| 5．12 本章小结 | 第117-118页 |
| 6 时栅新产品研制 | 第118-128页 |
| 6．1 引言 | 第118页 |
| 6．2 高精度时栅智能位移传感器 | 第118-121页 |
| 6．2．1 硬件电路设计 | 第119-121页 |
| 6．2．2 DSP软件设计 | 第121页 |
| 6．3 时栅数显圆分度转台 | 第121-123页 |
| 6．4 时栅闭环数控回转工作台 | 第123-125页 |
| 6．5 自动修正系统 | 第125-126页 |
| 6．6 本章小结 | 第126-128页 |
| 7 总结与展望 | 第128-130页 |
| 7．1 总结 | 第128-129页 |
| 7．2 展望 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 参考文献 | 第132-138页 |
| 附录: | 第138-144页 |
| 1． 作者在攻读博士学位期间发表的论文 | 第138-139页 |
| 2． 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第139-140页 |
| 3． 中国测试技术研究院对 TG-E1时栅角位移测量系统的测试报告 | 第140-141页 |
| 4． 国家自然科学基金委员会组织的技术鉴定会专家鉴定意见 | 第141-142页 |
| 5． 主要研制人员名单 | 第142-143页 |
| 6． 国家自然科学基金委员会组织的技术鉴定会鉴定委员会名单 | 第143-144页 |
| 独创性声明 | 第144页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第144页 |
