| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·MEMS 概述 | 第7-9页 |
| ·MEMS 平面动态特性测试技术研究现状 | 第9-13页 |
| ·选题背景与论文的主要内容 | 第13-15页 |
| 第二章 基于光流技术的二维运动估计 | 第15-32页 |
| ·光流技术 | 第15-23页 |
| ·光流场计算方法 | 第23-29页 |
| ·线性运动场的分解 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 光流技术在 MEMS 器件平面微运动特性中的实现 | 第32-42页 |
| ·MEMS 平面微运动测试系统的组成 | 第32-34页 |
| ·基于光流技术的MEMS 谐振器特性参数的提取 | 第34-40页 |
| ·小结 | 第40-42页 |
| 第四章 实验及其分析 | 第42-66页 |
| ·光流算法的模拟实验 | 第42-47页 |
| ·光流算法应用在实际MEMS 器件中的实验 | 第47-61页 |
| ·光流算法的比较与分析 | 第61-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的文章及所从事的科研项目 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |