| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·微电子机械系统概论 | 第9页 |
| ·微电子机械系统的仿真建模 | 第9-17页 |
| ·MEMS仿真建模概论 | 第9-11页 |
| ·MEMS宏模型及其实现方法 | 第11-13页 |
| ·器件端点特性模型的建模方法 | 第13-17页 |
| ·MEMS及其建模技术的研究现状 | 第17-18页 |
| ·论文研究的意义与主要内容 | 第18-20页 |
| ·论文研究的意义 | 第18页 |
| ·论文的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 MEMS的仿真建模方法 | 第20-37页 |
| ·节点分析法(NODAS) | 第20-24页 |
| ·节点法原理 | 第20-22页 |
| ·节点法举例 | 第22-24页 |
| ·现代硬件描述语言宏模型 | 第24-28页 |
| ·VHDL-AMS宏模型的理论基础 | 第24-27页 |
| ·静电传感器的机电耦合部分的 VHDL宏模型 | 第27-28页 |
| ·等效电路法 | 第28-36页 |
| ·等效电路法的理论基础 | 第28-31页 |
| ·F-I类比等效电路法 | 第31-34页 |
| ·F-V类比 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 微机电系统的端点特性建模方法 | 第37-52页 |
| ·MEMS端点特性建模的理论基础 | 第37-42页 |
| ·复杂微系统分级分解的理论基础 | 第37-40页 |
| ·微系统器件端点特性模型理论 | 第40页 |
| ·基于 FEM-网格理论研究 | 第40-42页 |
| ·端点特性建模的方法 | 第42-46页 |
| ·系统级特性模型的构建 | 第42页 |
| ·端点变量的定义 | 第42-44页 |
| ·端点变量之间基本关系的建立 | 第44-46页 |
| ·微泵系统的端点特性模型 | 第46-51页 |
| ·微泵的工作原理 | 第46-47页 |
| ·宏模型及端点关系的建立 | 第47-48页 |
| ·基于能量耦合法建立泵腔宏模型 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 两场耦合微器件的有限元法建模 | 第52-63页 |
| ·有限元法的特点及应用 | 第52-53页 |
| ·ANSYS软件及其在耦合场分析中的应用 | 第53-59页 |
| ·ANSYS软件简介 | 第54-55页 |
| ·ANSYS的耦合场分析功能 | 第55-58页 |
| ·基于FEM的机电耦合分析方法 | 第58-59页 |
| ·MEMS器件的有限元分析实例 | 第59-62页 |
| ·机电耦合微器件的实例模型 | 第59-60页 |
| ·用 ANSYS对该模型进行计算 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 多场耦合微器件降阶建模 | 第63-71页 |
| ·Klylov子空间法 | 第63-65页 |
| ·Krylov子空间法的定义 | 第63-64页 |
| ·基于 Krylov子空间法的Arnoldi方法 | 第64-65页 |
| ·多场耦合器件的实例模型 | 第65-66页 |
| ·用 Krylov子空间法建立降阶模型 | 第66-68页 |
| ·用泰勒级数展开得到线性的偏微分方程 | 第66-67页 |
| ·用有限差分法建立状态空间模型 | 第67页 |
| ·用基于 Krylov子空间的Arnoldi方法进行降阶处理 | 第67-68页 |
| ·计算结果 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·论文总结 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 附录A 机电耦合 APDL命令流 | 第73-75页 |
| 附录B MATLAB计算函数 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81页 |