高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·MEMS微构件的动态测试 | 第9-10页 |
| ·高g值条件下微构件动态特性的测试 | 第10-13页 |
| ·高速冲击法 | 第10-11页 |
| ·高速离心法 | 第11-13页 |
| ·高速旋转机械的研究发展 | 第13-14页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 测试装置的方案设计 | 第15-20页 |
| ·本章研究内容 | 第15页 |
| ·测试装置的技术方案 | 第15-17页 |
| ·测试装置的总体组成 | 第17-20页 |
| 3 离心转盘部件及其驱动单元的设计 | 第20-33页 |
| ·本章研究内容 | 第20页 |
| ·离心转盘部件的设计 | 第20-26页 |
| ·结构设计 | 第20-22页 |
| ·应力及变形的仿真分析 | 第22-24页 |
| ·转盘临界转速的计算分析 | 第24-26页 |
| ·驱动单元设计 | 第26-30页 |
| ·电主轴的选用 | 第27-28页 |
| ·电主轴的变频调速 | 第28-30页 |
| ·转差率的补偿实验研究 | 第30-33页 |
| 4 数据采集存储与传输单元设计 | 第33-38页 |
| ·本章研究内容 | 第33页 |
| ·方案设计 | 第33-34页 |
| ·设计中的关键问题 | 第33-34页 |
| ·设计解决方案 | 第34页 |
| ·硬件配置 | 第34-37页 |
| ·数据采集单片机上位机软件设计 | 第37-38页 |
| 5 离心转盘振动状态监测与分析单元设计 | 第38-55页 |
| ·本章研究内容 | 第38页 |
| ·监测信号的检测 | 第38-41页 |
| ·测振传感器的选择 | 第39-40页 |
| ·基准信号的测量 | 第40-41页 |
| ·监测信号的数据采集 | 第41-43页 |
| ·振动信号的分析处理 | 第43-49页 |
| ·振动特征参量 | 第44-45页 |
| ·时域波形 | 第45-47页 |
| ·频谱分析 | 第47-49页 |
| ·基于振动信号分析的离心转盘工作特性研究 | 第49-55页 |
| ·波形图分析 | 第49-52页 |
| ·频谱图分析 | 第52-55页 |
| 6 测试装置控制软件的设计 | 第55-66页 |
| ·软件的开发平台 | 第55-56页 |
| ·软件总体结构及前面板设计 | 第56-60页 |
| ·软件总体结构 | 第56-58页 |
| ·前面板设计 | 第58-60页 |
| ·功能模块的设计实现 | 第60-65页 |
| ·微构件测试模块 | 第60-62页 |
| ·转台控制与振动监测模块 | 第62-65页 |
| ·设计特点 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第72页 |
