| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·精密驱动器的应用 | 第8-11页 |
| ·常见精密驱动器的类型及特点 | 第11-19页 |
| ·常见精密驱动器类型 | 第12-14页 |
| ·压电精密驱动器的驱动方式的分类及研究现状 | 第14-19页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 压电材料的基础理论 | 第20-32页 |
| ·压电材料的介绍 | 第20-24页 |
| ·压电效应 | 第20-21页 |
| ·压电材料的相关参数 | 第21-23页 |
| ·压电陶瓷的发展及压电陶瓷致动元件 | 第23-24页 |
| ·压电叠堆 | 第24-32页 |
| ·压电叠堆的组成 | 第26-27页 |
| ·压电叠堆的基本特性 | 第27-30页 |
| ·压电叠堆的使用方法及注意事项 | 第30-32页 |
| 第三章 压电型步进精密驱动器结构设计 | 第32-61页 |
| ·步进式运动的工作原理 | 第32-33页 |
| ·柔性铰链的设计 | 第33-47页 |
| ·柔性铰链概述 | 第34-35页 |
| ·柔性铰链的总体设计原则 | 第35-36页 |
| ·柔性铰链刚度计算公式 | 第36-40页 |
| ·柔性铰链的解析 | 第40-41页 |
| ·柔性铰链的有限元分析 | 第41-44页 |
| ·预紧力对柔性铰链输出位移的影响 | 第44-47页 |
| ·驱动机构的解析 | 第47-50页 |
| ·压电叠堆的传递特性 | 第47-48页 |
| ·压电叠堆等效质量的计算 | 第48-49页 |
| ·驱动机构动力学模型分析 | 第49-50页 |
| ·压电型步进精密驱动器结构设计 | 第50-61页 |
| ·压电叠堆预紧机构设计 | 第52-54页 |
| ·箝位机构的设计 | 第54-56页 |
| ·驱动机构的设计 | 第56-59页 |
| ·动子及导轨的设计 | 第59页 |
| ·精密驱动器的加工、装配及使用注意事项 | 第59-61页 |
| 第四章 实验分析 | 第61-84页 |
| ·实验测试仪器及实验系统介绍 | 第61-63页 |
| ·压电叠堆输出性能测试 | 第63-65页 |
| ·柔性铰链实验机构的测试分析 | 第65-76页 |
| ·柔性铰链实验机构的设计与测试条件 | 第65-66页 |
| ·预紧力对柔性铰链实验机构静态输出位移的影响测试 | 第66-69页 |
| ·柔性铰链实验机构静态输出位移与驱动电压的关系测试 | 第69-72页 |
| ·柔性铰链的加工及装配误差对其输出特性的影响 | 第72-73页 |
| ·柔性铰链实验机构的动态性能测试 | 第73-76页 |
| ·精密驱动器机构性能测试 | 第76-84页 |
| ·精密驱动器箝位机构特性实验 | 第76-78页 |
| ·精密驱动器机构步长测试 | 第78-80页 |
| ·驱动速度测试 | 第80-81页 |
| ·精密驱动器承载能力测试 | 第81-83页 |
| ·总结 | 第83-84页 |
| 第五章 总结与展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 摘要 | 第88-91页 |
| Abstract | 第91-94页 |
| 致谢 | 第94页 |