| 第一章 绪论 | 第1-23页 |
| ·前言 | 第10-12页 |
| ·压电精密驱动器的分类及研究现状 | 第12-19页 |
| ·压电惯性式驱动器 | 第12-15页 |
| ·压电直动式驱动器 | 第15-17页 |
| ·压电步进式驱动器 | 第17-19页 |
| ·压电精密驱动器主要应用领域 | 第19-21页 |
| ·研究意义 | 第21-22页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 精密驱动元件压电叠堆 | 第23-38页 |
| ·前言 | 第23页 |
| ·压电材料性能 | 第23-28页 |
| ·压电效应 | 第23-24页 |
| ·压电方程 | 第24-26页 |
| ·压电材料的主要性能参数 | 第26-28页 |
| ·压电叠堆的结构及工作原理 | 第28-29页 |
| ·压电叠堆的工作特性 | 第29-37页 |
| ·电容特性 | 第29-31页 |
| ·响应特性 | 第31-32页 |
| ·力学特性 | 第32-35页 |
| ·迟滞特性 | 第35页 |
| ·温度特性 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 压电步进精密驱动基本结构研究 | 第38-55页 |
| ·前言 | 第38页 |
| ·柔性铰链的分析 | 第38-41页 |
| ·分类及其运动特点 | 第38-39页 |
| ·材料与加工 | 第39-41页 |
| ·运动机构的分析与研究 | 第41-50页 |
| ·调整机构的分析 | 第50-53页 |
| ·导向面作用的分析 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第四章 组合式压电步进二维精密驱动器 的设计及实验研究 | 第55-88页 |
| ·前言 | 第55页 |
| ·分体式外箝位内驱动步进直线精密驱动器研究 | 第55-71页 |
| ·结构与工作原理 | 第55-57页 |
| ·实验研究 | 第57-71页 |
| ·小结 | 第71页 |
| ·整体式外箝位外驱动步进直线精密驱动器研究 | 第71-82页 |
| ·结构与工作原理 | 第71-73页 |
| ·动力学及有限元模型分析 | 第73-77页 |
| ·实验研究 | 第77-82页 |
| ·小结 | 第82页 |
| ·组合式压电步进二维精密驱动器研究 | 第82-87页 |
| ·结构 | 第83页 |
| ·实验研究 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第五章 整体式压电步进直线旋转二维精 密驱动器的设计及实验研究 | 第88-105页 |
| ·前言 | 第88页 |
| ·结构与工作原理 | 第88-90页 |
| ·动力学及有限元模型分析 | 第90-94页 |
| ·旋转运动分析 | 第90-93页 |
| ·直线运动分析 | 第93-94页 |
| ·实验研究 | 第94-104页 |
| ·箝位特性分析 | 第95-96页 |
| ·步距与分辨率分析 | 第96-99页 |
| ·运动速度分析 | 第99-101页 |
| ·驱动能力分析 | 第101-102页 |
| ·工作行程分析 | 第102-103页 |
| ·旋转与直线运动相互影响 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第六章 压电步进精密驱动器闭环控制的初步研究 | 第105-118页 |
| ·前言 | 第105页 |
| ·虚拟仪器 | 第105-106页 |
| ·闭环控制系统的组成 | 第106-110页 |
| ·硬件部分 | 第106-107页 |
| ·软件部分 | 第107页 |
| ·控制系统的工作原理 | 第107-110页 |
| ·控制方法研究 | 第110-112页 |
| ·基于LABVIEW 的程序开发 | 第112-116页 |
| ·实验研究 | 第116页 |
| ·本章小结 | 第116-118页 |
| 第七章 结论 | 第118-121页 |
| ·本文工作的总结 | 第118-120页 |
| ·本文创造性的工作 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-128页 |
| 致 谢 | 第128-129页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第129-130页 |
| 摘 要 | 第130-133页 |
| ABSTRACT | 第133-135页 |