| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·课题概述 | 第10-13页 |
| ·MEMS 微结构动态测试技术研究现状及发展趋势 | 第13-22页 |
| ·本文的主要研究工作及创新 | 第22-23页 |
| ·本文结构 | 第23-25页 |
| 2 MEMS 微结构动态测量原理 | 第25-34页 |
| ·系统总体设计与分析 | 第25-27页 |
| ·表面形貌测量原理 | 第27-29页 |
| ·运动测量原理 | 第29-30页 |
| ·同步控制方法 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 3 条纹图降噪算法 | 第34-46页 |
| ·条纹图噪声 | 第34-35页 |
| ·普通降噪算法 | 第35-36页 |
| ·旋滤波算法 | 第36-38页 |
| ·锯齿相位图滤波算法 | 第38-39页 |
| ·SUSAN 滤波算法 | 第39-41页 |
| ·干涉条纹图降噪方案 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 MEMS 微结构三维运动测量算法 | 第46-58页 |
| ·面内运动测量算法 | 第46-52页 |
| ·离面运动测量算法 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 MEMS 微结构动态测试系统研制、误差分析及精度测试 | 第58-79页 |
| ·系统主要设计要求 | 第58页 |
| ·系统硬件研制 | 第58-61页 |
| ·系统软件设计 | 第61-64页 |
| ·系统误差分析 | 第64-72页 |
| ·系统精度测试 | 第72-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 6 典型MEMS 微结构测试 | 第79-91页 |
| ·硅微陀螺仪测试 | 第79页 |
| ·微镜测试 | 第79-82页 |
| ·压力传感器膜测试 | 第82-84页 |
| ·谐振器阵列测试 | 第84-86页 |
| ·AFM 微悬臂梁测试 | 第86-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 7 总结与展望 | 第91-94页 |
| ·全文总结 | 第91-92页 |
| ·展望及对今后工作的建议 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-104页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第104-106页 |
| 附录2 攻读博士学位期间专利授权与申请情况 | 第106-110页 |
| 附录3 中南国家计量测试中心校准证书 | 第110-112页 |