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基于MEMS工艺的轴向磁化永磁微电机结构优化及性能分析

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-13页
第一章 绪论第13-30页
   ·引言第13页
   ·微电机种类及国内外研究现状第13-17页
   ·微电机的应用前景及发展趋势第17-26页
   ·微电机制作工艺第26-28页
   ·本文研究的主要内容第28-30页
第二章 轴向磁化永磁微电机结构优化及工作原理分析第30-50页
   ·引言第30页
   ·轴向磁化永磁微电机永磁材料的选择第30-32页
   ·轴向磁化永磁微电机主要结构尺寸分析第32-37页
   ·轴向磁化永磁微电机永磁转子设计及制作第37-38页
   ·基于有限元方法的轴向磁化永磁微电机结构参数分析第38-47页
   ·轴向磁化永磁微电机工作原理第47-49页
   ·小结第49-50页
第三章 轴向磁化永磁微电机性能分析第50-77页
   ·引言第50页
   ·轴向磁化永磁微电机热分析第50-59页
   ·轴向磁化永磁微电机转矩的有限元分析及最小尺寸的确定第59-68页
   ·轴向磁化永磁微电机转矩的解析计算第68-72页
   ·轴向磁化永磁微电机工作特性第72-75页
   ·小结第75-77页
第四章 轴向磁化永磁微电机定子线圈制作工艺研究第77-110页
   ·引言第77-78页
   ·轴向磁化永磁微电机定子线圈的制作第78-100页
   ·轴向磁化永磁微电机定子线圈制作中关键工艺的研究第100-108页
   ·与定子线圈研究相关的微机械工艺实验设备第108页
   ·小结第108-110页
第五章 轴向磁化永磁微电机驱动方式及控制电路设计第110-118页
   ·引言第110页
   ·轴向磁化永磁微电机驱动方式选择第110-111页
   ·轴向磁化永磁微电机控制电路设计第111-117页
   ·小结第117-118页
第六章 结论与展望第118-121页
参考文献第121-130页
附录1:有限元计算程序一例第130-149页
附录2:定子线圈的宏命令流第149-153页
攻读博士期间发表论文情况第153-154页
作者简介第154-155页
致谢第155-156页

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