电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第10-14页 |
| ·微致动器的研究概况 | 第14-20页 |
| ·典型微致动器的驱动原理及应用 | 第14-18页 |
| ·致动方式的比较 | 第18-19页 |
| ·微致动器的应用 | 第19-20页 |
| ·微致动器的设计技术 | 第20页 |
| ·选题的意义和主要研究内容 | 第20-22页 |
| ·选题的意义 | 第20-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 双热臂电热微致动器的数学建模 | 第22-38页 |
| ·建模的理论基础 | 第22-24页 |
| ·热力学理论 | 第22-23页 |
| ·传热学理论 | 第23-24页 |
| ·数学模型的建立 | 第24-37页 |
| ·几何模型 | 第24-26页 |
| ·电热分析 | 第26-32页 |
| ·结构分析 | 第32-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 双热臂电热微致动器的有限元仿真及参数分析 | 第38-67页 |
| ·耦合场分析 | 第38-42页 |
| ·ANSYS 在MEMS 耦合场分析中的应用 | 第38-39页 |
| ·电热微致动器耦合场分析理论 | 第39-42页 |
| ·有限元仿真 | 第42-54页 |
| ·有限元分析模型的建立基础 | 第42页 |
| ·有限元分析模型的建立 | 第42-44页 |
| ·有限元分析的加载求解及后处理 | 第44-46页 |
| ·有限元仿真参数化模型的建立 | 第46-51页 |
| ·有限元仿真结果及分析 | 第51-54页 |
| ·参数分析 | 第54-62页 |
| ·温度场参数分析 | 第54-56页 |
| ·结构场参数分析 | 第56-62页 |
| ·双热臂与单热臂电热微致动器的性能比较 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第4章 双热臂电热微致动器的动力学分析 | 第67-80页 |
| ·微机械动力学 | 第67页 |
| ·模态分析 | 第67-74页 |
| ·模态分析的理论基础 | 第68-69页 |
| ·模态分析的方法及步骤 | 第69-70页 |
| ·模态分析结果 | 第70-74页 |
| ·瞬态动力学分析 | 第74-79页 |
| ·瞬态动力学分析方法及步骤 | 第74-75页 |
| ·瞬态动力学分析结果 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 结论 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-87页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 作者简介 | 第89页 |
