| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·微机电系统技术与微惯性技术 | 第9-11页 |
| ·微机电系统技术 | 第9页 |
| ·微惯性器件及系统综述 | 第9-10页 |
| ·微机械陀螺仪的发展状况 | 第10-11页 |
| ·流体惯性器件的发展状况 | 第11-13页 |
| ·微机械热对流加速度计的发展状况 | 第12页 |
| ·压电射流角速率陀螺的发展状况 | 第12-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 微流体陀螺的基本原理和仿真分析 | 第14-28页 |
| ·流体惯性传感器的工作原理 | 第14-15页 |
| ·微机械热对流加速度计的工作原理 | 第14-15页 |
| ·压电射流角速率陀螺仪工作原理 | 第15页 |
| ·微流体陀螺基本原理和工作分析 | 第15-18页 |
| ·微流体陀螺基本原理 | 第15-16页 |
| ·微流体陀螺工作分析 | 第16-18页 |
| ·微流体陀螺计算机仿真与分析 | 第18-25页 |
| ·微流体陀螺内部流体仿真 | 第18-22页 |
| ·线性度分析 | 第22页 |
| ·灵敏度分析 | 第22-25页 |
| ·结构设计和制作工艺 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第三章 微流体陀螺的电路设计和模型仿真 | 第28-52页 |
| ·微流体陀螺测控线路设计 | 第28-35页 |
| ·电桥电路 | 第28-29页 |
| ·差动放大电路 | 第29-30页 |
| ·恒流源电路 | 第30-31页 |
| ·调制解调电路设计 | 第31-33页 |
| ·放大电路 | 第33-35页 |
| ·恒温电路设计 | 第35-44页 |
| ·恒温电路的选择 | 第35-37页 |
| ·电路设计 | 第37-44页 |
| ·恒温电路的原理框图 | 第37-38页 |
| ·带通滤波电路 | 第38-39页 |
| ·比例积分微分（PID）电路 | 第39-40页 |
| ·可控增益放大电路 | 第40-44页 |
| ·恒温系统的模型和仿真 | 第44-51页 |
| ·恒温系统的简化处理方法 | 第44-46页 |
| ·恒温电路的模型 | 第44-45页 |
| ·增益Gain 和输入电压V_(in) 的传递函数 | 第45页 |
| ·输入电压V_(in) 和输出电压V_O 的传递函数 | 第45-46页 |
| ·恒温系统的稳定时间的分析和仿真 | 第46-51页 |
| ·恒温系统稳定时间的定义 | 第46-47页 |
| ·增益Gain 和输入电压V_(in) 的静态微动方程特性分析 | 第47-48页 |
| ·增益Gain 和输入V_(in) 的动态运动方程特性分析 | 第48-49页 |
| ·输入V_(in) 和输出VO 的静态微动方程特性分析 | 第49-50页 |
| ·输入V_(in) 和输出VO 的动态运动方程特性分析 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第四章 微流体陀螺的试验研究 | 第52-62页 |
| ·测试系统 | 第52-53页 |
| ·微流体陀螺试验测试 | 第53-60页 |
| ·微流体陀螺性能测试与比较 | 第53-57页 |
| ·恒温电路试验 | 第57-58页 |
| ·微流体陀螺的特性测试 | 第58-59页 |
| ·零偏稳定性 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 第五章 总结展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66页 |
