面向微细作业的微操作器的关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·MEMS 的发展带动作用 | 第8-9页 |
| ·微装配作业的需求 | 第9页 |
| ·生物医学技术发展的要求 | 第9-10页 |
| ·微细作业系统研究现状比较 | 第10页 |
| ·微细作业系统 | 第10-11页 |
| ·微细作业的基本特征 | 第10页 |
| ·微细作业系统的组成 | 第10-11页 |
| ·微操作器 | 第11-14页 |
| ·微操作器的机能 | 第11页 |
| ·微操作器的研究现状 | 第11-14页 |
| ·微操作器的关键技术研究 | 第14页 |
| ·课题来源、预期目标及章节安排 | 第14-16页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·预期目标 | 第14页 |
| ·章节安排 | 第14-16页 |
| 第二章 微操作器执行机构设计 | 第16-31页 |
| ·微位移驱动方案选择 | 第16-18页 |
| ·静电驱动方案 | 第16页 |
| ·电磁驱动方案 | 第16页 |
| ·形状记忆合金驱动方案 | 第16-17页 |
| ·压电陶瓷驱动方案 | 第17-18页 |
| ·微位移驱动方案的选择 | 第18页 |
| ·执行机构位移放大原理 | 第18-21页 |
| ·柔性机构 | 第18-19页 |
| ·柔性铰链机构 | 第19-21页 |
| ·微操作器执行机构设计 | 第21-30页 |
| ·执行机构布局设计 | 第21-23页 |
| ·三级放大式执行机构详细设计 | 第23-28页 |
| ·二级放大式执行机构详细设计 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微操作器定位检测方式设计 | 第31-37页 |
| ·压电陶瓷叠堆的驱动电源 | 第31页 |
| ·微操作器的检测方式 | 第31-33页 |
| ·电感式位移检测方式 | 第32页 |
| ·电容式位移检测方式 | 第32页 |
| ·光栅式位移检测方式 | 第32页 |
| ·光纤式位移检测方式 | 第32-33页 |
| ·显微视觉式位移检测方式 | 第33页 |
| ·方式选择 | 第33页 |
| ·电涡流传感检测 | 第33-36页 |
| ·电涡流传感器的原理 | 第33-35页 |
| ·电涡流传感器的特点 | 第35页 |
| ·电涡流传感器的应用 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 微操作器执行机构测试及优化 | 第37-43页 |
| ·执行机构试制 | 第37页 |
| ·执行机构测试 | 第37-40页 |
| ·实验平台 | 第37-38页 |
| ·性能测试 | 第38-40页 |
| ·执行机构优化 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 微操作器的控制方法研究 | 第43-50页 |
| ·精密定位系统硬件平台 | 第43-46页 |
| ·数据采集控制板卡 | 第43-44页 |
| ·信号处理电路 | 第44-45页 |
| ·数据采集软件滤波 | 第45-46页 |
| ·控制方法研究 | 第46-48页 |
| ·压电陶瓷特性分析 | 第46页 |
| ·控制策略制定 | 第46-48页 |
| ·控制软件编制 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 总结与展望 | 第50-52页 |
| ·论文的主要工作 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
