基于MEMS技术的自吸微泵的研制
| 独创性声明 | 第1页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第2-3页 |
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-32页 |
| ·微机电系统(MEMS) 的发展 | 第10-15页 |
| ·MEMS的概念 | 第10-11页 |
| ·MEMS加工技术 | 第11-12页 |
| ·MEMS技术的特点 | 第12-14页 |
| ·MEMS的研究方向 | 第14页 |
| ·MEMS发展状况 | 第14-15页 |
| ·微流体控制系统 | 第15-16页 |
| ·微型泵的研究进展 | 第16-24页 |
| ·微泵的分类 | 第16页 |
| ·压电微泵 | 第16-19页 |
| ·静电微泵 | 第19-20页 |
| ·电磁微泵 | 第20-21页 |
| ·热气动微泵 | 第21-22页 |
| ·双金属记忆合金微泵 | 第22-23页 |
| ·非机械微泵简述 | 第23-24页 |
| ·本论文的主要目标及任务 | 第24-26页 |
| ·应用背景 | 第24-25页 |
| ·主要目标 | 第25页 |
| ·主要任务 | 第25-26页 |
| ·本章参考文献 | 第26-32页 |
| 第二章 微型泵致动技术 | 第32-55页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·压电致动理论 | 第33-41页 |
| ·压电效应 | 第33-34页 |
| ·压电方程 | 第34页 |
| ·压电材料和器件的主要参数 | 第34-37页 |
| ·压电陶瓷 | 第37-39页 |
| ·压电陶瓷的振动模式 | 第39-41页 |
| ·压电双晶片的变形分析 | 第41-46页 |
| ·压电圆片的弯曲变形 | 第46-47页 |
| ·弹性薄板的变形理论 | 第47-52页 |
| ·泵膜的模型 | 第47-48页 |
| ·等厚圆薄板的小挠度变形 | 第48-49页 |
| ·等厚圆薄板的大挠度变形 | 第49-50页 |
| ·等厚矩形薄板的小挠度变形 | 第50-51页 |
| ·等厚矩形薄板的大挠度变形 | 第51页 |
| ·极限载荷 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| ·本章参考文献 | 第53-55页 |
| 第三章 无阀压电微泵的设计与制作 | 第55-72页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·微流体的尺度效应 | 第55-57页 |
| ·雷诺数 | 第55-56页 |
| ·表面张力 | 第56页 |
| ·管路阻力 | 第56-57页 |
| ·气泡的影响 | 第57页 |
| ·无阀微泵的工作原理 | 第57-61页 |
| ·无阀压电微泵的制作 | 第61-66页 |
| ·泵膜的选择 | 第62-63页 |
| ·上片制作 | 第63-64页 |
| ·下片制作 | 第64-65页 |
| ·无阀压电微泵的组装 | 第65-66页 |
| ·无阀压电微泵的性能测试 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| ·本章参考文献 | 第69-72页 |
| 第四章 有阀型压电微泵的研制 | 第72-90页 |
| ·引言 | 第72-73页 |
| ·被动阀型微泵的设计与制作 | 第73-82页 |
| ·被动阀微泵的工作原理 | 第73-74页 |
| ·泵腔的制作 | 第74-76页 |
| ·被动阀的制作 | 第76-77页 |
| ·组装 | 第77-78页 |
| ·泵腔压缩比 | 第78页 |
| ·测试与讨论 | 第78-82页 |
| ·复合阀型微泵的设计与制作 | 第82-87页 |
| ·压电微泵的工作原理 | 第82-83页 |
| ·制作工艺 | 第83-84页 |
| ·组装与封装 | 第84-85页 |
| ·泵腔压缩比 | 第85-86页 |
| ·测试与讨论 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| ·本章参考文献 | 第88-90页 |
| 第五章 微泵的进一步优化 | 第90-103页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·被动阀的分析 | 第90-93页 |
| ·被动阀的模型 | 第90-92页 |
| ·正向过流 | 第92页 |
| ·反向泄漏 | 第92-93页 |
| ·优化方案 | 第93-97页 |
| ·测试与讨论 | 第97-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| ·本章参考文献 | 第102-103页 |
| 第六章 结论 | 第103-107页 |
| ·主要研究工作 | 第103-105页 |
| ·主要创新点 | 第105页 |
| ·问题和展望 | 第105-107页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第107-108页 |
| 致谢 | 第108页 |
