基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪的结构设计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究的目的及意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·本文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 微机械陀螺仪基础 | 第12-20页 |
| ·微机械陀螺仪基本原理 | 第12-15页 |
| ·Coriolis 效应 | 第12-13页 |
| ·传统微机械陀螺仪的结构及工作原理 | 第13页 |
| ·动力学方程 | 第13-15页 |
| ·微机械陀螺仪中的空气阻尼 | 第15-17页 |
| ·压膜阻尼 | 第16页 |
| ·滑膜阻尼 | 第16-17页 |
| ·品质因数 | 第17页 |
| ·陀螺仪性能参数 | 第17页 |
| ·传统微机械陀螺仪目前存在的问题 | 第17-19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| 第三章 基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪设计与分析 | 第20-43页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪结构及工作机理 | 第20-24页 |
| ·陀螺仪结构及工作机理 | 第20-24页 |
| ·基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪结构的动力学设计 | 第24-28页 |
| ·驱动模态的设计 | 第24页 |
| ·检测模态的设计 | 第24-26页 |
| ·阻尼估计 | 第26页 |
| ·检测模态的动态放大系统 | 第26-28页 |
| ·参数灵敏度分析 | 第28-32页 |
| ·加工尺寸的变化 | 第28-29页 |
| ·压力的变化 | 第29-30页 |
| ·温度的变化 | 第30-32页 |
| ·误差分析 | 第32-36页 |
| ·原理性误差 | 第32-34页 |
| ·非原理性误差 | 第34-36页 |
| ·结构参数匹配设计 | 第36-39页 |
| ·有限元仿真 | 第39-42页 |
| ·有限元理论 | 第39-40页 |
| ·仿真结果 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪的制作 | 第43-49页 |
| ·微机械陀螺仪的加工工艺 | 第43-45页 |
| ·体硅薄片融解工艺 | 第43-45页 |
| ·DDSOG工艺 | 第45页 |
| ·两种加工工艺对陀螺仪性能的影响 | 第45-48页 |
| ·残余应力 | 第45-48页 |
| ·机械灵敏度比较 | 第48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第五章 基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪的性能测试 | 第49-55页 |
| ·驱动模态的频率特性 | 第49-51页 |
| ·标度因数 | 第51-53页 |
| ·测试设备 | 第51页 |
| ·测试程序 | 第51-52页 |
| ·计算方法 | 第52-53页 |
| ·零偏稳定性 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结及展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
