形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·MEMS 器件及研究现状 | 第10-13页 |
| ·MEMS 的概念 | 第10-12页 |
| ·MEMS 的典型器件和系统 | 第12-13页 |
| ·霍尔器件及霍尔集成电路 | 第13-22页 |
| ·磁传感器的种类 | 第13-14页 |
| ·霍尔元件的研究和发展 | 第14-18页 |
| ·霍尔集成电路研究与进展 | 第18-20页 |
| ·霍尔器件发展方向 | 第20-22页 |
| ·本文研究意义和主要内容 | 第22-23页 |
| 第2章 霍尔效应原理及其影响参数 | 第23-30页 |
| ·霍尔效应的基本原理 | 第23-25页 |
| ·不等位电势的产生和克服 | 第25-28页 |
| ·灵敏度及其影响参数 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 MEMS 器件CAD 及有限元分析 | 第30-39页 |
| ·MEMS 器件CAD 设计 | 第30-32页 |
| ·有限元分析方法 | 第32-33页 |
| ·有限元分析软件ANSYS | 第33-38页 |
| ·ANSYS 软件概述 | 第33-34页 |
| ·ANSYS 软件环境 | 第34-35页 |
| ·ANSYS 功能简介 | 第35-38页 |
| ·ANSYS 参数化设计语言(APDL) | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 ANSYS 有限元建模及求解 | 第39-56页 |
| ·建立长方形模型 | 第39-43页 |
| ·网格划分 | 第43-47页 |
| ·加载及定义分析类型 | 第47-51页 |
| ·ANSYS 求解及模拟结果 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 长方形霍尔片模拟分析 | 第56-64页 |
| ·APDL 语言的应用 | 第56-58页 |
| ·宽度对霍尔片工作状态的影响 | 第58-61页 |
| ·宽度选择 | 第58页 |
| ·宽度对灵敏度的影响 | 第58-61页 |
| ·厚度对霍尔片工作状态的影响 | 第61-63页 |
| ·厚度选择 | 第61页 |
| ·厚度对灵敏度的影响 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 圆形霍尔片的有限元分析 | 第64-71页 |
| ·圆形霍尔片建模与模拟 | 第64-66页 |
| ·不同厚度圆形霍尔片模拟 | 第66-67页 |
| ·形状对霍尔片灵敏度影响 | 第67-68页 |
| ·两种形状霍尔片灵敏度对比 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
