基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·课题来源 | 第7页 |
| ·微机电系统检测的背景 | 第7-8页 |
| ·微机电系统检测的意义 | 第8-9页 |
| ·微机电系统运动检测的研究现状 | 第9-16页 |
| ·基于显微视觉的检测方法 | 第9-10页 |
| ·基于干涉原理的检测方法 | 第10-15页 |
| ·基于激光多普勒原理的检测方法 | 第15页 |
| ·国内 MEMS 运动检测的研究情况 | 第15-16页 |
| ·激光多普勒技术的发展及现状 | 第16-17页 |
| ·硅微机械谐振器 | 第17-18页 |
| ·微机电系统器件的试验模态测试 | 第18-19页 |
| ·论文的研究目的和主要任务 | 第19-20页 |
| 第二章 MEMS 运动检测实验系统 | 第20-51页 |
| ·测量原理 | 第20-21页 |
| ·测量系统的总体结构 | 第21-22页 |
| ·MEMS 运动检测的光学系统 | 第22-35页 |
| ·差动多普勒测量光路 | 第22-24页 |
| ·改进的差动多普勒测量光路 | 第24-26页 |
| ·同时测量面内和离面运动的光路系统 | 第26-28页 |
| ·微小测量光斑的实现 | 第28-35页 |
| ·信号处理电路 | 第35-45页 |
| ·锁相环解调电路 | 第36-40页 |
| ·运动方向辨别电路 | 第40-45页 |
| ·微定位系统 | 第45-47页 |
| ·MEMS 激励系统 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第三章 测量信号的时频分析 | 第51-68页 |
| ·多普勒信号的特点 | 第51-52页 |
| ·多普勒信号的处理方法 | 第52页 |
| ·测量信号的时频分析 | 第52-59页 |
| ·时频分析函数的选择 | 第53-54页 |
| ·Wigner-Ville 分布 | 第54-55页 |
| ·联合分布函数的改进 | 第55-58页 |
| ·时频分布谱图的重排 | 第58-59页 |
| ·小波降噪 | 第59-63页 |
| ·小波降噪原理 | 第59-60页 |
| ·阈值的选取及量化 | 第60-63页 |
| ·测量信号的时频分析流程 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 MEMS 试验模态分析 | 第68-76页 |
| ·谐振器的振动模型 | 第68-69页 |
| ·MEMS 高阶振动测试 | 第69-75页 |
| ·谐振器模态的软件仿真 | 第69-71页 |
| ·谐振器固有频率的实验测试 | 第71-72页 |
| ·谐振器固有振型的测量 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第76-98页 |
| ·系统评定实验 | 第76-78页 |
| ·微型谐振器振动测量实验 | 第78-83页 |
| ·微马达转动测量实验 | 第83-84页 |
| ·谐振器高阶振动的测量 | 第84-94页 |
| ·误差分析 | 第94-97页 |
| ·光学系统引起的误差 | 第94-97页 |
| ·信号处理电路引起的误差 | 第97页 |
| ·外界随机振动引起的误差 | 第97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第六章 结论与展望 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-107页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109页 |
