| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·研究目的与意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-23页 |
| ·硅微机械陀螺仪在国外的研究现状 | 第14-18页 |
| ·硅微机械陀螺仪在国内的研究现状 | 第18-19页 |
| ·正交误差解决方法研究状况 | 第19-22页 |
| ·杂散电容的抑制方法 | 第22-23页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第23-25页 |
| ·课题来源 | 第23-24页 |
| ·研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 硅微机械陀螺仪的基本理论 | 第25-38页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·硅微机械陀螺仪的运动分析及相关理论 | 第25-34页 |
| ·硅微机械陀螺仪的运动分析 | 第25-27页 |
| ·硅微机械陀螺仪的电容检测机理 | 第27-29页 |
| ·平板式电容检测 | 第27-28页 |
| ·梳齿式电容检测 | 第28-29页 |
| ·误差分析 | 第29-34页 |
| ·结构性误差 | 第29-33页 |
| ·原理性误差 | 第30-32页 |
| ·加工误差 | 第32-33页 |
| ·正交误差 | 第32-33页 |
| ·力不平衡引起的误差信号 | 第33页 |
| ·噪声分析 | 第33-34页 |
| ·硅微机械陀螺仪的加工工艺 | 第34-37页 |
| ·体硅微制造(Bulk Micromaching) | 第35-36页 |
| ·表面微加工(Surface Micromaching) | 第36-37页 |
| ·LIGA | 第37页 |
| ·复合微机械加工技术 | 第37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第三章 正交误差的研究与分析 | 第38-66页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·基本理论 | 第38-40页 |
| ·弹性系统的刚度矩阵 | 第38-40页 |
| ·支承梁的刚度计算方法 | 第40页 |
| ·不等弹性 | 第40-61页 |
| ·四根梁的弹性系统 | 第40-48页 |
| ·弹性系统 | 第41-43页 |
| ·弹性系统的坐标轴在平面内的偏转 | 第41-42页 |
| ·弹性系统坐标轴的中心点在平面内偏移 | 第42-43页 |
| ·支承梁加工误差产生的正交位移分析 | 第43-48页 |
| ·工艺分析 | 第44页 |
| ·梁宽不等 | 第44-47页 |
| ·梁的中心线与参考坐标轴不垂直 | 第47-48页 |
| ·结构的厚度不等 | 第48页 |
| ·六根梁的弹性系统 | 第48-54页 |
| ·弹性系统 | 第49-50页 |
| ·弹性系统的坐标轴在平面内发生偏转 | 第49-50页 |
| ·弹性系统坐标轴的中心点在平面内偏移 | 第50页 |
| ·支承梁加工误差产生的正交位移分析 | 第50-54页 |
| ·梁宽不等 | 第50-53页 |
| ·梁的中心线与参考坐标轴不垂直 | 第53-54页 |
| ·支承梁的刚度矩阵 | 第54-61页 |
| ·不平衡力 | 第61-65页 |
| ·驱动电极板间距不等 | 第62-63页 |
| ·敏感电极板间距不等 | 第63-65页 |
| ·平板式电容极板 | 第63-64页 |
| ·梳齿式电容极板 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 第四章 硅微机械陀螺仪的机电接口模型分析 | 第66-81页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·硅微机械陀螺仪的机电接口模型 | 第66-68页 |
| ·硅微机械陀螺仪的电容与电阻分析 | 第68-80页 |
| ·电容分析 | 第69-74页 |
| ·有用电容 | 第69-71页 |
| ·杂散电容 | 第71-74页 |
| ·杂散电容对输出的影响 | 第74-78页 |
| ·引线与活动结构间电容C_(pw) 对输出的影响 | 第75-76页 |
| ·衬底与活动结构间电容C_(pM) 对输出的影响 | 第76-78页 |
| ·电阻对输出的影响 | 第78-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 第五章 Z轴硅微机械陀螺仪的结构改进 | 第81-105页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·Z轴硅微机械陀螺仪的运动分析 | 第81-90页 |
| ·理想运动分析 | 第82-84页 |
| ·正交误差 | 第84-90页 |
| ·外支承有加工误差 | 第85-87页 |
| ·内支承有加工误差时 | 第87-88页 |
| ·内外支承都有加工误差 | 第88-90页 |
| ·正交误差的减小方法 | 第90-95页 |
| ·外支承的改进 | 第90-94页 |
| ·外支承刚度矩阵 | 第90-91页 |
| ·外支承的改进 | 第91-94页 |
| ·折叠梁 | 第91-93页 |
| ·横梁组件 | 第93-94页 |
| ·内支承梁的改进 | 第94-95页 |
| ·杂散电容的减小 | 第95-97页 |
| ·仿真 | 第97-104页 |
| ·模态分析 | 第97-100页 |
| ·模态分析的基本理论 | 第98页 |
| ·模态仿真 | 第98-100页 |
| ·动力学响应分析 | 第100-104页 |
| ·动力学响应分析基本理论 | 第100-102页 |
| ·正交位移的计算与仿真 | 第102-104页 |
| ·小结 | 第104-105页 |
| 第六章 实验 | 第105-110页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·设计与加工 | 第105页 |
| ·实验 | 第105-109页 |
| ·驱动频率特性的实验曲线 | 第105-107页 |
| ·正交误差 | 第107-108页 |
| ·噪声分析 | 第108-109页 |
| ·实验结果分析 | 第109页 |
| ·小结 | 第109-110页 |
| 第七章 总结与展望 | 第110-112页 |
| ·总结 | 第110-111页 |
| ·展望 | 第111-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-120页 |
| 附录 折叠梁的刚度计算 | 第120-122页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及获奖情况 | 第122页 |