| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·MEMS 发展概况 | 第9-11页 |
| ·MEMS 运动特性测试方法 | 第11-15页 |
| ·模糊图象法 | 第11-12页 |
| ·高速摄影法 | 第12-13页 |
| ·频闪成像法 | 第13-15页 |
| ·本课题研究的意义及主要内容 | 第15-18页 |
| 第二章 频闪成像与运动激励同步控制系统的设计与分析 | 第18-29页 |
| ·频闪成像技术在MEMS 运动测试中的应用原理 | 第18-21页 |
| ·频闪成像原理 | 第18-20页 |
| ·频闪成像系统的时序要求及系统设计的技术指标 | 第20-21页 |
| ·频闪成像与运动激励同步控制系统的整体设计方案 | 第21-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 频闪成像与运动激励同步控制系统的电路设计 | 第29-59页 |
| ·系统电源设计 | 第30-35页 |
| ·FPGA 供电电源设计 | 第31-33页 |
| ·系统其它器件供电电源设计 | 第33-35页 |
| ·逻辑电平转换电路的设计 | 第35页 |
| ·AlteraStratixIIFPGA 的下载电路设计 | 第35-42页 |
| ·ByteBlasterII 下载电缆的制作 | 第36-37页 |
| ·JTAG 配置模式下载电路设计 | 第37-39页 |
| ·AS 配置模式下载电路的设计 | 第39-41页 |
| ·系统的总体配置设计 | 第41-42页 |
| ·串行接口电路的设计 | 第42-43页 |
| ·微结构激励信号输出电路设计 | 第43-55页 |
| ·D/A 转换电路的设计 | 第43-44页 |
| ·数字电位器电路的设计 | 第44-48页 |
| ·模拟处理电路的设计 | 第48-55页 |
| ·高速多层印刷电路板的设计 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 频闪成像与运动激励同步控制系统的软件设计 | 第59-87页 |
| ·FPGA软件开发环境简介 | 第60-63页 |
| ·AlteraQuartusII 软件的特点 | 第60-61页 |
| ·AlteraQuartusII 开发流程 | 第61-62页 |
| ·QuartusII 软件开发语言简介 | 第62-63页 |
| ·设计方法与设计技术 | 第63-65页 |
| ·时钟管理子系统的设计与仿真 | 第65-66页 |
| ·串口通信子系统的设计与仿真 | 第66-74页 |
| ·串口通信协议 | 第66-69页 |
| ·串口接收模块的软件设计实现与仿真 | 第69-71页 |
| ·串口发送模块的软件设计与仿真 | 第71-73页 |
| ·数据存储器（双端口RAM）模块设计与仿真 | 第73-74页 |
| ·控制子系统的设计与仿真 | 第74-82页 |
| ·输出控制模块的设计与仿真 | 第74-77页 |
| ·波形存储器模块的设计与仿真 | 第77-78页 |
| ·波形输出模块的设计 | 第78-79页 |
| ·数字电位器配置控制模块设计与仿真 | 第79-81页 |
| ·频闪脉冲宽度计算模块的设计与实现 | 第81-82页 |
| ·软件系统顶层模块的设计与实现 | 第82-83页 |
| ·PC 机串口通信软件的设计 | 第83-86页 |
| ·PC 机串口通讯简介 | 第83页 |
| ·MSComm 控件的通讯特点 | 第83-84页 |
| ·频闪成像与运动激励同步控制系统PC 机软件设计 | 第84-86页 |
| ·本章小节 | 第86-87页 |
| 第五章 频闪成像与运动激励同步控制系统的频闪光源设计 | 第87-96页 |
| ·半导体激光器驱动电路的设计 | 第87-90页 |
| ·频闪光源的单元测试 | 第90-95页 |
| ·光电探测电路的设计 | 第90-93页 |
| ·频闪光源的测试单元的建立 | 第93-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第六章 系统测试实验分析及延时补偿 | 第96-107页 |
| ·微结构运动激励信号的实验分析与误差校正 | 第96-99页 |
| ·频闪光源的实验分析 | 第99-103页 |
| ·系统总的同步性实验分析与同步补偿 | 第103-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第七章 总结与展望 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-114页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115页 |
