高精度六自由度微动平台驱动技术研究
| 第一章 绪论 | 第1-16页 |
| ·微位移技术的发展概况 | 第13页 |
| ·微位移驱动方式分类及电磁驱动方式概述 | 第13-15页 |
| ·本课题研究的意义 | 第15页 |
| ·本论文研究的内容 | 第15-16页 |
| 第二章 电磁力驱动方式研究及试验装置设计 | 第16-28页 |
| ·电磁引力驱动方式研究 | 第16-18页 |
| ·电磁引力驱动试验装置的结构设计及工作原理 | 第16-17页 |
| ·电磁引力驱动的控制方法研究及控制系统工作原理 | 第17-18页 |
| ·电磁引力驱动实验及实验结果 | 第18页 |
| ·电磁斥力驱动方式研究 | 第18-28页 |
| ·电磁斥力驱动的试验装置设计 | 第19-21页 |
| ·电磁线圈与永磁体斥力关系计算 | 第21-22页 |
| ·永磁体之间斥力的关系计算 | 第22-23页 |
| ·电磁斥力试验装置驱动模型分析 | 第23-24页 |
| ·传感器的选型研究及其标定 | 第24-26页 |
| ·电磁线圈使用与铁芯的选择 | 第26-28页 |
| 第三章 电磁斥力驱动方式的控制系统设计 | 第28-47页 |
| ·控制系统的硬件设计 | 第28-43页 |
| ·总体设计 | 第28-29页 |
| ·通用处理器模块设计 | 第29-30页 |
| ·传感器信号采集模块 | 第30-33页 |
| ·线圈激励电压输出模块设计 | 第33-38页 |
| ·数/模转换器模块设计 | 第33-35页 |
| ·D/A转换器电压转换电路设计 | 第35-36页 |
| ·低通滤波电路设计 | 第36-38页 |
| ·功率放大电路模块设计 | 第38-39页 |
| ·与上位机PC通信接口模块 | 第39-42页 |
| ·RS-232总线标准、异步串行通信概述 | 第39-41页 |
| ·通信接口模块的设计 | 第41-42页 |
| ·印制电路板抗干扰设计的一些技巧 | 第42-43页 |
| ·控制系统的软件设计 | 第43-47页 |
| ·总体设计 | 第43-44页 |
| ·工作台位移模块设计 | 第44-45页 |
| ·位移值输入模块软件设计 | 第45-46页 |
| ·ISP编程功能 | 第46-47页 |
| 第四章 电磁斥力驱动方式控制方法研究 | 第47-58页 |
| ·控制方法概述 | 第47页 |
| ·PID控制方法概述 | 第47-50页 |
| ·模拟 PID控制原理 | 第47-48页 |
| ·数字 PID控制原理 | 第48-49页 |
| ·PID控制器的参数整定方法 | 第49-50页 |
| ·电磁斥力驱动方式的PID算法研究及参数整定 | 第50-53页 |
| ·电磁斥力驱动的PID算法研究 | 第50-51页 |
| ·电磁斥力驱动试验装置的位移特性标定 | 第51-52页 |
| ·控制参数 P的整定 | 第52-53页 |
| ·电磁斥力驱动的电压控制方法研究 | 第53-58页 |
| ·磁滞特性概述 | 第53-54页 |
| ·“抗磁滞”电压控制方法研究 | 第54-58页 |
| 第五章 电磁斥力驱动六自由度工作台结构设计 | 第58-63页 |
| ·电磁斥力驱动六维工作台结构设计 | 第58-61页 |
| ·六自由度工作台传感器选型研究 | 第58-59页 |
| ·六自由度工作台的结构设计 | 第59-61页 |
| ·电磁斥力驱动六维工作台工作原理 | 第61-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·工作总结 | 第63页 |
| ·工作展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 在读期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69-72页 |
