| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-27页 |
| ·纳米科技的内涵及发展历史 | 第9-10页 |
| ·纳米级压电驱动技术 | 第10-18页 |
| ·压电精密微动台的分类及特点 | 第12-16页 |
| ·微动台应用范围 | 第16-18页 |
| ·纳米级位移测量技术 | 第18-24页 |
| ·显微镜测量技术 | 第18-20页 |
| ·光学测量技术 | 第20-23页 |
| ·电学测量方法 | 第23-24页 |
| ·步进压电微动台的研究背景及研究进展 | 第24-25页 |
| ·本课题的主要研究内容和意义 | 第25-27页 |
| 第二章 纳米级步进压电微动台的工作原理及结构设计 | 第27-50页 |
| ·压电元件的基本理论 | 第27-38页 |
| ·压电方程及压电常数矩阵 | 第27-31页 |
| ·压电元件的选择 | 第31-33页 |
| ·压电驱动器的工作特性 | 第33-38页 |
| ·步进压电微动台的工作原理 | 第38-40页 |
| ·外驱动型压电步进驱动工作原理 | 第39-40页 |
| ·内驱动型压电步进驱动工作原理 | 第40页 |
| ·步进压电微动台的结构设计 | 第40-47页 |
| ·压电微动台的设计要求 | 第40-41页 |
| ·外驱动型步进压电微动台的结构设计 | 第41-44页 |
| ·内驱动型步进压电微动台的结构设计 | 第44-47页 |
| ·微动台机构关键技术 | 第47页 |
| ·外驱动型微动台的受力分析 | 第47-49页 |
| ·夹紧力分析 | 第48页 |
| ·驱动力分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第三章 纳米级步进压电微动台的有限元分析及结构的优化 | 第50-77页 |
| ·有限元法理论及PZT 材料有限元模型 | 第50-54页 |
| ·有限元法的基本原理 | 第50-52页 |
| ·有限元分析流程 | 第52-53页 |
| ·PZT 压电材料有限元模型 | 第53-54页 |
| ·外驱动型步进压电微动台的静态、动态分析 | 第54-61页 |
| ·前处理 | 第54-56页 |
| ·静态分析 | 第56-58页 |
| ·动态分析 | 第58-61页 |
| ·内驱动型步进压电微动台的静态、动态分析 | 第61-62页 |
| ·静态分析 | 第61-62页 |
| ·动态分析 | 第62页 |
| ·外驱动型步进压电微动台结构的优化分析 | 第62-75页 |
| ·正交实验设计概述 | 第63-65页 |
| ·设计参数的正交实验安排和运用有限元模型进行仿真 | 第65-67页 |
| ·y 方差分析 | 第67-69页 |
| ·寻找最优条件积极因素 | 第69-71页 |
| ·回归分析 | 第71-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第四章 压电微动台的控制技术 | 第77-92页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第77-83页 |
| ·驱动电源的作用原理 | 第77-78页 |
| ·驱动电源的类型 | 第78页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的设计要求 | 第78-79页 |
| ·驱动电源的电路设计 | 第79-83页 |
| ·压电微动台驱动控制系统 | 第83-88页 |
| ·驱动控制系统的总体设计 | 第83页 |
| ·驱动控制系统的硬件设计 | 第83-86页 |
| ·驱动控制系统的软件设计 | 第86-88页 |
| ·抗电磁干扰系统 | 第88-91页 |
| ·滤波 | 第88-89页 |
| ·屏蔽 | 第89页 |
| ·接地 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第五章 纳米级步进压电微动台测试实验及结果分析 | 第92-108页 |
| ·电容测微仪的标定 | 第93页 |
| ·外驱动型微动台的性能实验 | 第93-100页 |
| ·固定电压时运动位移随驱动频率变化实验 | 第93-95页 |
| ·固定频率时运动位移随电压变化实验 | 第95-97页 |
| ·夹紧器特性 | 第97-98页 |
| ·微动台载重能力测量 | 第98页 |
| ·移动速度测量 | 第98-99页 |
| ·分辨率 | 第99页 |
| ·重复性实验 | 第99-100页 |
| ·微动台运行范围测量 | 第100页 |
| ·内驱动型微动台的性能实验 | 第100-104页 |
| ·微动试验控制电路及测试系统 | 第100-101页 |
| ·固定电压时运动位移随频率变化实验 | 第101-102页 |
| ·固定频率时运动位移随电压变化实验 | 第102页 |
| ·移动速度测量 | 第102-103页 |
| ·微动台载重能力测量 | 第103页 |
| ·最小步进和运行范围测量 | 第103-104页 |
| ·STM 运用 | 第104页 |
| ·微动台性能的影响因素分析 | 第104-106页 |
| ·设计因素 | 第104-105页 |
| ·摩擦阻尼 | 第105页 |
| ·电磁干扰 | 第105-106页 |
| ·外界振动 | 第106页 |
| ·环境温度 | 第106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第108-111页 |
| ·全文总结 | 第108-109页 |
| ·创新点 | 第109-110页 |
| ·工作展望 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-120页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121页 |