基于材料选择的精密工作台控制系统研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-19页 |
| ·引言 | 第6-7页 |
| ·国内外大行程超精密工作台发展现状及存在问题 | 第7-8页 |
| ·超精密工作台的控制方法 | 第8-15页 |
| ·经典控制方法 | 第8-11页 |
| ·现代控制方法 | 第11-13页 |
| ·智能控制 | 第13-15页 |
| ·直线电机控制技术发展简介 | 第15-17页 |
| ·层次分析法简介 | 第17页 |
| ·课题的提出及本文的目的 | 第17-19页 |
| 第二章 超精密工作台的搭建及关键技术 | 第19-34页 |
| ·概述 | 第19-21页 |
| ·运动控制卡的比较与选择 | 第21-24页 |
| ·运动控制卡概述 | 第21-22页 |
| ·NI PCI-7350 系列运动控制卡 | 第22页 |
| ·PMAC运动控制卡 | 第22-23页 |
| ·运动控制卡的比较与选择 | 第23-24页 |
| ·直线电机的选型计算 | 第24-31页 |
| ·直线电机简介 | 第24-27页 |
| ·主要直线电机厂商及其产品简介 | 第27-29页 |
| ·直线电机选型计算 | 第29-31页 |
| ·光栅尺的选择 | 第31-32页 |
| ·主要光栅尺厂商介绍 | 第31-32页 |
| ·光栅尺参数比较与选择 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 经典控制系统的仿真 | 第34-50页 |
| ·超精密工作台进给系统数学模型的建立 | 第34-43页 |
| ·直线电机伺服单元数学模型 | 第34-36页 |
| ·影响系统伺服性能的扰动因素及其补偿方法 | 第36-39页 |
| ·进给系统数学模型 | 第39-40页 |
| ·PID调节器参数的实验整定方法 | 第40-43页 |
| ·控制系统的仿真结果 | 第43-48页 |
| ·单位反馈PID控制 | 第43-44页 |
| ·带加速度前馈的PID控制 | 第44-45页 |
| ·位置环速度环双反馈PID控制 | 第45-47页 |
| ·纯滞后系统Smith预估控制 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 控制方案的优化选择 | 第50-58页 |
| ·层次分析法简介 | 第50页 |
| ·控制系统的评价与选择 | 第50-57页 |
| ·递阶层次结构的建立 | 第50-52页 |
| ·构造判断矩阵，计算权重并进行一致性检验 | 第52-56页 |
| ·合成权重的计算 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 超精密工作台控制系统的设计 | 第58-70页 |
| ·概述 | 第58-60页 |
| ·信号连接及引脚定义 | 第60-69页 |
| ·运动I/O连接器 | 第60-66页 |
| ·数字I/O连接器 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 结论与展望 | 第70-72页 |
| ·本文结论 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
