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全柔性机构的优化设计方法和实验研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
1 绪论第10-19页
   ·引言第10-11页
   ·MEMS材料力学性能测试方法国内外研究现状第11-16页
     ·微拉伸法第11-14页
     ·微梁弯曲法第14-16页
     ·纳米压入法第16页
   ·MEMS材料力学性能测试方法的特点第16-17页
   ·本文研究工作阐述第17-19页
     ·本文主要研究工作第17-18页
     ·本文内容安排第18页
     ·课题来源第18-19页
2 MEMS材料力学性能测试仪的总体方案第19-27页
   ·引言第19页
   ·MEMS材料力学性能测试仪简介第19-20页
   ·精密定位子系统第20-24页
     ·机械本体介绍第20-22页
     ·压电陶瓷驱动器第22-23页
     ·压电陶瓷驱动电源第23-24页
   ·试件夹持子系统第24-25页
   ·载荷/位移测量子系统第25页
   ·测控子系统第25-26页
   ·本章小结第26-27页
3 冗余驱动平面并联全柔性机构第27-38页
   ·引言第27页
   ·研究背景第27-31页
     ·全柔性机构产生的历史背景第27-29页
     ·全柔性机构的典型应用第29-31页
   ·柔性铰链第31-34页
     ·柔性铰链简介第31-32页
     ·柔性铰链的力学模型第32-34页
   ·冗余驱动并联全柔性机构第34-36页
     ·并联与全柔性机构第34-35页
     ·冗余驱动与全柔性机构第35-36页
   ·机械本体构型第36-37页
   ·本章小结第37-38页
4 机械本体设计第38-55页
   ·引言第38页
   ·机械本体总体设计流程第38-39页
   ·最优结构拓扑选择第39-42页
   ·运动学建模第42-46页
     ·运动学模型第42-44页
     ·运动学实例仿真第44-46页
   ·机构运动学和力传递性能优化第46-52页
     ·优化模型第47-48页
     ·遗传算法第48-50页
     ·遗传算法优化设计实例第50-52页
   ·机构全柔性化第52-54页
   ·本章小结第54-55页
5 压电陶瓷驱动电源设计第55-78页
   ·引言第55页
   ·压电陶瓷第55-57页
     ·压电陶瓷驱动器的优点第55-56页
     ·压电效应与电致伸缩效应第56页
     ·PTB200型压电陶瓷驱动器第56-57页
   ·压电陶瓷驱动电源总体第57-58页
   ·控制单元的设计第58-69页
     ·A/D转换电路第60-62页
     ·Z D/A转换电路第62-65页
     ·LCD显示电路第65-68页
     ·键盘电路第68-69页
   ·线性稳压单元的设计第69-72页
     ·高压稳压电路第70-71页
     ·串联反馈稳压电路第71-72页
   ·压电陶瓷驱动电源性能测试和实验分析第72-77页
     ·电源实物图第72-73页
     ·线性度测试第73-75页
     ·输出电压纹波测试第75-77页
   ·本章小结第77-78页
6 结论与展望第78-80页
   ·结论第78页
   ·研究展望第78-80页
附录 YD-1型压电陶瓷驱动电源性能测试实验数据第80-82页
参考文献第82-87页
在学研究成果第87-88页
致谢第88页

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