基于MEMS的微型振动式发电机系统的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·微能源的国内外研究 | 第9-19页 |
| ·微型电池 | 第9-11页 |
| ·微型发电机系统 | 第11-19页 |
| ·本论文研究的意义和主要研究内容 | 第19-21页 |
| 2 微型振动式发电机系统的相关理论和结构设计模拟 | 第21-38页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·微型振动式发电机的工作原理和结构设计 | 第21-33页 |
| ·微型振动式发电机模型的建立 | 第21-23页 |
| ·MEMS 可变电容器的结构设计和对比 | 第23-27页 |
| ·谐振系统的结构稳态力学响应分析和计算 | 第27-28页 |
| ·驻极体 | 第28-31页 |
| ·微型振动式发电机的计算分析 | 第31-33页 |
| ·第二种结构的驻极体发电机 | 第33-38页 |
| 3 微型振动式发电机系统的研制 | 第38-48页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·微型振动式发电机的工艺设计和版图设计 | 第38-40页 |
| ·微型发电机的工艺设计 | 第38-39页 |
| ·微型发电机的版图设计 | 第39-40页 |
| ·关键技术研究 | 第40-42页 |
| ·ICP 深槽刻蚀 | 第40-41页 |
| ·驻极体加工 | 第41页 |
| ·封装技术 | 第41-42页 |
| ·微型振动式发电机样机的测试 | 第42-48页 |
| ·叉指电容器的电学特性测试 | 第42页 |
| ·微型振动式发电机样机的测试系统 | 第42-43页 |
| ·微型振动式发电机样机的性能分析 | 第43-48页 |
| 4 微型振动式发电机的系统电路 | 第48-67页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·储能元件的选择 | 第48-53页 |
| ·储能装置的简介 | 第48-49页 |
| ·超级电容器的简介和分析 | 第49-51页 |
| ·超级电容器的充放电计算和实验 | 第51-53页 |
| ·系统电路的分析和设计 | 第53-64页 |
| ·系统电路的整体分析 | 第53-55页 |
| ·系统电路的设计 | 第55-57页 |
| ·系统电路的参数优化与调试 | 第57-62页 |
| ·正弦电流源模型 | 第62-64页 |
| ·系统电路的优化设计 | 第64-67页 |
| 5 微型振动式发电机的演示实验与应用技术研究 | 第67-71页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·演示实验 | 第67-68页 |
| ·现有应用实例分析 | 第68页 |
| ·TPMS 应用分析 | 第68-71页 |
| 结论与展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第76-77页 |
| 独创性声明 | 第77页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第77页 |
