| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪言 | 第10-17页 |
| ·课题的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·纳米压印研究现状 | 第11-14页 |
| ·MEMS 功能表面减摩防粘研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究工作 | 第16-17页 |
| 2 纳米压印机理研究 | 第17-41页 |
| ·用于纳米压印的光刻胶力学性能研究 | 第17-23页 |
| ·纳米压印过程聚合物流动机理和模型研究 | 第23-35页 |
| ·基于粘弹性模型的纳米压印过程模拟研究 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 纳米压印对准系统研究 | 第41-59页 |
| ·纳米压印对准运动分析 | 第41-42页 |
| ·基于莫尔技术和图像匹配的定位对准系统研究 | 第42-54页 |
| ·基于柔性元件的承片台姿态调整机构研究 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 微光学器件的压印试验研究 | 第59-77页 |
| ·纳米光栅的制作 | 第59-67页 |
| ·微透镜阵列的制作 | 第67-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 5 基于“荷叶效应”的MEMS 功能表面减摩防粘机理研究 | 第77-97页 |
| ·“荷叶效应”在MEMS 器件防粘中的作用机理研究 | 第77-80页 |
| ·“荷叶效应”在微流体器件减摩降阻中的作用机理研究 | 第80-82页 |
| ·具有“荷叶效应”的微流通道的微流特性分子动力学模拟研究 | 第82-96页 |
| ·本章小节 | 第96-97页 |
| 6 使用纳米压印技术的MEMS 仿生功能表面制备技术研究 | 第97-113页 |
| ·“荷叶结构”的特征尺度和形态 | 第97-98页 |
| ·塑料微流器件仿生功能表面的制备研究 | 第98-102页 |
| ·硅基MEMS 器件仿生功能表面的制备研究 | 第102-107页 |
| ·MEMS 仿生功能表面微摩擦性能测试研究 | 第107-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 7 全文总结与展望 | 第113-116页 |
| ·全文总结 | 第113-115页 |
| ·展望和对今后工作的建议 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-126页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的论文目录 | 第126-128页 |
| 附录2 申报专利 | 第128-132页 |
| 附录3 纳米压印样机及部分压印结果 | 第132-134页 |
| 附录4 纳米压印制作的部分仿生功能表面及性能测试结果 | 第134-135页 |
