基于压电陶瓷驱动器的精密定位平台控制系统研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题研究的意义 | 第7页 |
| ·微定位技术的主要应用领域 | 第7-9页 |
| ·微型机械制造、超精密加工 | 第7-8页 |
| ·生物工程方面 | 第8页 |
| ·集成电路制造方面 | 第8页 |
| ·光纤对接方面 | 第8页 |
| ·微机械零件的操作和装配 | 第8-9页 |
| ·医疗科学方面 | 第9页 |
| ·压电陶瓷控制技术的研究现状 | 第9-12页 |
| ·电压驱动开环控制法 | 第9-10页 |
| ·电压驱动闭环控制方法 | 第10-11页 |
| ·电荷驱动闭环控制法 | 第11-12页 |
| ·压电陶瓷驱动器控制算法 | 第12页 |
| ·本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动器特性研究 | 第14-20页 |
| ·压电效应 | 第14-15页 |
| ·压电陶瓷驱动器基本结构 | 第15页 |
| ·压电陶瓷驱动器基本特性 | 第15-18页 |
| ·迟滞特性 | 第16-17页 |
| ·蠕变特性 | 第17-18页 |
| ·非线性特性 | 第18页 |
| ·温度特性 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-20页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动器实验系统设计 | 第20-28页 |
| ·压电陶瓷驱动器实验系统组成 | 第20-24页 |
| ·压电陶瓷驱动器 | 第21页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第21-23页 |
| ·传感器信号调理电路 | 第23页 |
| ·A／D及D／A转换卡 | 第23-24页 |
| ·实验系统的工作过程 | 第24-25页 |
| ·LabVIEW语言简介 | 第25-27页 |
| ·LabVIEW语言概述 | 第25-26页 |
| ·LabVIEW语言编程特点 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动器控制方法研究 | 第28-42页 |
| ·PID控制系统 | 第28-33页 |
| ·PID控制原理 | 第28-31页 |
| ·PID控制器参数的整定方法 | 第31页 |
| ·PID控制系统的编程实现 | 第31-33页 |
| ·模糊自整定PID控制系统 | 第33-41页 |
| ·模糊控制基本原理 | 第33-34页 |
| ·模糊自整定PID控制器设计 | 第34-37页 |
| ·模糊自整定PID控制程序实现 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 压电陶瓷驱动器控制实验结果 | 第42-46页 |
| ·PID控制实验结果 | 第42-43页 |
| ·模糊自整定PID控制实验结果 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第六章 三自由度精密定位平台的控制 | 第46-55页 |
| ·三自由度精密定位平台简介 | 第46-48页 |
| ·三自由度精密定位平台控制实验 | 第48-54页 |
| ·三自由度精密定位平台控制系统设计 | 第48-50页 |
| ·平台输入输出关系矩阵的修正 | 第50-52页 |
| ·定位平台控制实验结果 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第七章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·课题总结 | 第55-56页 |
| ·进一步工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 附录 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
