| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 主要符号表 | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-30页 |
| ·微型机电系统的研发概况 | 第15-21页 |
| ·微型机电系统的溯源 | 第15-19页 |
| ·微型机电系统的应用领域与发展前景 | 第19-21页 |
| ·微致动器的国内外研究现状 | 第21-28页 |
| ·微致动器的分类与特点分析 | 第21-23页 |
| ·静电梳状硅微谐振器的研究进展 | 第23-26页 |
| ·电热硅微致动器的研究进展 | 第26-28页 |
| ·论文的主要研究内容及意义 | 第28-30页 |
| 第二章 硅微致动器的设计与制作 | 第30-39页 |
| ·三层多晶硅的表面硅微加工工艺 | 第30-32页 |
| ·谐振式直线马达与相关微致动器设计 | 第32-35页 |
| ·电热式微直线马达设计 | 第35-37页 |
| ·V型梁电热杠杆式体硅纳米致动器设计 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 单侧直脚谐振器的力学性能分析 | 第39-53页 |
| ·单侧直脚谐振器的结构与工作机理 | 第39-40页 |
| ·单侧直脚谐振器的简化力学分析模型 | 第40-44页 |
| ·静力学分析 | 第40-42页 |
| ·力学性能分析 | 第42-44页 |
| ·单侧直脚谐振器的性能分析 | 第44-50页 |
| ·结构参数对弹性系数K_x的影响 | 第45页 |
| ·结构参数对谐振频率f的影响 | 第45-48页 |
| ·结构参数对横向最大位移x_(max)的影响 | 第48-50页 |
| ·单、双侧支撑的静电梳状谐振器性能比较 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 复合Ⅴ型梁热致动器的静态特性分析 | 第53-70页 |
| ·复合Ⅴ型梁热致动器的静力学模型 | 第53-63页 |
| ·前端Ⅴ型梁热致动器的变形与支反力计算 | 第54-56页 |
| ·侧面Ⅴ型梁热致动器的变形与支反力计算 | 第56-61页 |
| ·复合Ⅴ型梁热致动器的变形与支反力迭代计算方法 | 第61-63页 |
| ·复合Ⅴ型梁热致动器的静态特性研究 | 第63-66页 |
| ·Ⅱ型梁热致动器的静态特性研究 | 第66-67页 |
| ·Ⅴ型梁和Ⅱ型梁热致动器的性能比较 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 硅微致动器性能试验研究 | 第70-81页 |
| ·硅微致动器性能试验测试系统 | 第70-71页 |
| ·硅微致动器微小位移测量方法 | 第71-73页 |
| ·集成读数标尺法 | 第71-72页 |
| ·CCD图象对比法 | 第72-73页 |
| ·单侧直脚谐振器的性能试验研究 | 第73-78页 |
| ·测试原理 | 第73-74页 |
| ·幅频特性试验 | 第74-76页 |
| ·振幅——电压特性试验 | 第76-77页 |
| ·单侧直脚谐振器谐振频率计算公式验证 | 第77-78页 |
| ·电热硅微致动器的性能试验研究 | 第78-80页 |
| ·复合Ⅴ型梁热致动器的性能试验研究 | 第78-79页 |
| ·Ⅱ型梁热致动器的性能试验研究 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 应用硅微致动器的MEMS执行器开发 | 第81-89页 |
| ·静电谐振式微直线马达 | 第81-82页 |
| ·电热式微直线马达 | 第82-83页 |
| ·体硅Ⅴ型梁电热杠杆式纳米致动器 | 第83-85页 |
| ·对试验中发现的问题之思考 | 第85-87页 |
| ·本章小结 | 第87-89页 |
| 第七章 结论与展望 | 第89-92页 |
| ·研究工作总结 | 第89-90页 |
| ·未来研究工作展望 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-100页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的学术论文(附"检索报告") | 第100-104页 |
| 作者在攻读博士学位期间完成的科研项目情况 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105页 |