| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-11页 |
| ·微机电系统发展概述 | 第6-7页 |
| ·微机电系统检测技术的研究意义及现状 | 第7-8页 |
| ·研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8页 |
| ·微机电系统的检测方法 | 第8-10页 |
| ·基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的动态测试技术 | 第9-10页 |
| ·基于激光多普勒原理的检测方法 | 第10页 |
| ·其它检测方法 | 第10页 |
| ·论文的主要工作和任务 | 第10-11页 |
| 第二章 MEMS运动检测原理及实验系统 | 第11-15页 |
| ·系统的测量原理 | 第11-12页 |
| ·激光测速光路的基本模式 | 第11页 |
| ·激光差动多普勒测量光路原理 | 第11-12页 |
| ·改进的差动多普勒测量实验系统 | 第12-13页 |
| ·信号处理电路原理 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第三章 多普勒信号的软件处理 | 第15-26页 |
| ·多普勒信号概述 | 第15-16页 |
| ·多普勒信号的处理方法的比较 | 第16-17页 |
| ·多普勒信号的时频分析 | 第17-19页 |
| ·时频分析概述 | 第17页 |
| ·时频分析的功能特点 | 第17-18页 |
| ·时频分析函数的选择 | 第18-19页 |
| ·多普勒信号的降噪 | 第19-21页 |
| ·小波降噪的优势及其实现步骤 | 第19-21页 |
| ·多普勒信号的软件处理程序设计 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第四章 基于DSP的信号采集处理电路设计 | 第26-47页 |
| ·概述 | 第26-27页 |
| ·系统的整体设计 | 第27-28页 |
| ·前置模拟电路 | 第28-29页 |
| ·AD 采集电路设计 | 第29-33页 |
| ·TLV1571 简介 | 第29-31页 |
| ·TLV1571 的硬件连接 | 第31-32页 |
| ·TLV1571 的调试 | 第32-33页 |
| ·DSP 电路设计 | 第33-39页 |
| ·TMS320VC5402 简介 | 第33-34页 |
| ·DSP 程序编程调试环境 | 第34-35页 |
| ·DSP 系统的基本硬件设计 | 第35-36页 |
| ·Flash 扩展接口 | 第36-38页 |
| ·SRAM 扩展接口 | 第38-39页 |
| ·主机通讯设计 | 第39-46页 |
| ·DSP 的主机接口(HPI) | 第39-41页 |
| ·HPI-8 与主机并口的连接 | 第41-43页 |
| ·驱动软件设计 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第47-54页 |
| ·AD 的采样与FFT | 第47-48页 |
| ·微型谐振器振动测量实验 | 第48-51页 |
| ·光学系统改进前后多普勒信号的比较 | 第49-50页 |
| ·时频分析法和计数法处理结果的比较 | 第50-51页 |
| ·谐振器固有振型的测量 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结和展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |