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一般性问题
微结构振动特性的自由衰减测试方法
NEMS测试中若干关键技术的研究
基于光流技术的MEMS平面微运动特性的测量
基于Preisach磁滞模型的超磁致伸缩致动器的控制技术研究
提高并行共焦探测精度的方法研究
MIMU及其与GPS组合系统设计与实验研究
基于电气制导与误差修正的几何量计量新方法及新型栅式智能位移传感器研究
基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制
基于VPRD的仪表产品造型应用技术研究
MEMS器件用PZT薄膜的制备及性能研究
MEMS-DMs理论设计及工艺研究
计量型微位移精密工作台的研制
MEMS真空封装关键技术研究
基于精密电容微位移传感的两维纳米级定位系统的研究
振动式微机械陀螺的设计与仿真
音叉式石英微机械陀螺的驱动检测技术研究
石英音叉微机械陀螺的微弱信号数字检测技术的仿真与系统误差研究
一种新型压电陶瓷—金属复合换能器的研究
电磁悬浮平台系统的承载特性与控制研究
单自由度磁悬浮系统的设计与控制研究
磁悬浮平台承载特性研究
基于线性变化边界条件的电渗流仿真分析
智能制造中的微操作/微装配系统基础技术研究
基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究
虚拟样机技术在磁悬浮精密定位平台中的机电一体化研究
环矩形真空吸浮导轨的研究
微机电系统级建模与仿真研究
微机电系统中粘附的表面效应和尺寸效应的研究
直线电机驱动6DOF磁悬浮平台控制的研究
磁控形状记忆合金执行器的设计及特性研究
智能测量仪表和系统中的数据和信号处理技术
高信噪比电容式微机械陀螺的研究
基于粘度修正理论的微流体阻尼特性分析
微通道气体流动的分子动力学模拟
螺旋线样板校准系统的开发
基于MEMS技术的弹道修正微陀螺集成设计
MEMS系统级的跨平台建模技术研究
基于XML的MEMS加工工艺数据库设计与实现
高精度微定位器结构与控制研究
基于MEMS技术的微自适应光学系统的建模及关键技术研究
面向器件行为的MEMS宏建模方法研究
MEMS微变形镜的系统级建模研究
超磁致伸缩执行器的基础理论与实验研究
微细管道内表面检测及三维重建关键技术研究
微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法
透皮微针阵列的工艺研究
基于热变形的纳米级大进给力驱动部件的研究
大行程超精密工作台关键技术研究
压电微悬臂梁传感技术的研究
基于GPRS的仪表数据采集与监控系统
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