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微制造平台振动主动控制研究
稀土超磁致伸缩致动器的设计及实验研究
微制造隔振平台的控制系统设计
超精密微位移系统研究
磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究
表面弹性波马达的研究与设计
多自由度压电式微位移机电系统的研究
空间分布压电驱动的多自由度微定位工作台位姿控制模型与实验研究
磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究
三维微操作运动及定位控制的研究
基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究
MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术
微型飞行器中的若干动力学问题研究
Tb-Dy-Fe单晶的磁致伸缩效应及其在微位移致动器中的应用研究
基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计
微夹持理论与系统的研究
指示表全自动检定仪的研究
小型非球面加工与检验
微机械压电微电机原型机的研究
反应烧结碳化硅质反射镜制备技术的研究
微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法
超磁致伸缩执行器及其控制技术研究
动态测量误差修正灰色建模理论与应用技术研究
基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究
磁流变抛光技术的研究
柔性电热微夹钳的关键技术研究
叠堆驱动二维惯性压电驱动机构研究
SU-8光刻胶超声时效的实验研究
喷油器试验台的开发
气体挤压膜悬浮平台的性能分析
量子效应对微纳机械系统稳定性的影响
微型车盘式制动器粘—滑振动的研究
具有360度回转功能的六自由度运动平台的优化设计
微机械陀螺仪锁定检测技术的研究
微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究
MEMS技术的磁流体陀螺仪关键技术的研究
精密工件台运动参数校准方法研究
基于表面张力作用的MEMS自组装及其精度控制技术研究
超磁致伸缩精密位移驱动器的热分析与控制
阀用电磁铁动静态性能自动测试平台的研制
新型变频交流节能试验台控制系统的研究
新型三自由度惯性压电驱动器研究
基于V型导轨压电叠堆惯性驱动器的研究
非对称结构惯性压电旋转驱动器的研究
双轴速率转台
MEMS光开关的建模与仿真
基于虚拟仪器和变频技术的制动器试验系统
分布式网络化测试系统中的同步触发技术研究
基于无线数据传输的力学实验台测试系统研究
基于人机交互理论的测量仪器显示界面研究
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