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一般性问题
AlGaN/GaN HEMT微悬臂梁加速度计器件特性测试分析及结构优化
Si基外延GaAs-RTD的高灵敏度力敏效应研究
高温退火对300mm硅片表面质量的影响
纯相位光学防伪掩模设计的相位恢复算法研究
冶金法去除多晶硅中B杂质的研究
氧化锌薄膜铜镓掺杂及其相关发光器件制备
大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2光催化薄膜
氧化锌微纳结构的生长及其压电器件研究
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缓冲层结晶性对ZnO薄膜性质的作用机制研究
冗余金属的光刻影响分析及优化
电子束熔炼提纯多晶硅中热量传输和能量利用的研究
单晶硅表面氧化处理电学性能评价
基于PLC的多晶硅熔炼炉控制系统
石墨及不锈钢衬底上低温沉积GaN薄膜的结晶特性研究
镀铜玻璃衬底上GaN薄膜的低温制备及其性能研究
电子束熔炼与定向凝固技术耦合去除硅中杂质的研究
基于ECR-PEMOCVD技术在镀钛玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜特性研究
化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅的研究
氮钝化SiC MOS界面特性的Gray-Brown法研究
基于ZnO微米线的酒精及紫外探测器
大功率GaN基LED用SiC衬底刻蚀工艺研究
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镀银硅片衬底上低温沉积GaN薄膜的特性研究
利用DLTS技术研究黑硅的钝化和表面态
冶金法制备高纯硅工艺研究
基于水平集方法的等离子体刻蚀过程数值模拟
化学气相沉积制备碳化硅过程的数值模拟
硅铝合金中锡的添加对初晶硅回收的影响及锡的电解沉积研究
水热法生长ZnO纳米结构研究
表面处理蓝宝石基片对ZnO薄膜性能的影响
多晶硅提纯设备DPS650的壳体设计分析
纳米压印镍模板的复制工艺研究
喷淋头高度调节InGaN/GaN量子阱生长及n-AlGaN电子阻挡层的模拟研究
热场材料在真空定向提纯设备DPS-650中的应用研究
喷淋头高度对MOCVD生长GaN外延层质量的影响
Mn掺杂对ZnO纳米晶的结构及光学性能的影响
ITO衬底上GaN薄膜的低温沉积及性能研究
MgxZn1-xO合金材料的制备与光学性质研究
电化学湿法选择性刻蚀来剥离GaN外延
合金法提纯多晶硅的研究
AZO薄膜电学性质的导电原子力显微镜研究
有机半导体载流子迁移率的密度泛函研究
高热导石墨衬底上氧化锌薄膜的超声喷雾热解法生长研究
超声处理对SU-8胶与金属基底粘附性的影响
反应室气压调节对Mg掺杂GaN的影响
基于双层微量热计的金属薄膜热容及熔点的研究
不同衬底和温度对电子束蒸发法制备的ZnCdO薄膜特性的影响
过渡金属掺杂ZnO、SnO2的微观结构和发光性能研究
基于叶序排布抛光垫的抛光机理的若干研究
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