| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术 | 第8-11页 |
| ·UV-LIGA工艺中SU-8胶的粘附性问题 | 第11-14页 |
| ·SU-8胶与金属基底粘附性低对MEMS工艺的影响 | 第11-12页 |
| ·增强SU-8胶与金属基底的粘附性的研究现状 | 第12-14页 |
| ·超声技术在聚合物改性方面的研究 | 第14-15页 |
| ·课题研究内容 | 第15-17页 |
| 2 超声处理减小SU-8胶层内应力 | 第17-22页 |
| ·SU-8胶层内应力产生原因分析 | 第17-19页 |
| ·超声处理消除SU-8胶层内应力的机理 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 胶层与基底结合性能的表征 | 第22-33页 |
| ·膜/基界面结合性能测量方法 | 第22-27页 |
| ·拉伸法 | 第22-23页 |
| ·压痕法 | 第23-24页 |
| ·超声波测试法 | 第24-25页 |
| ·鼓泡法 | 第25页 |
| ·划痕法 | 第25-27页 |
| ·临界载荷Lc的确定方法 | 第27-28页 |
| ·结合强度的表征方法 | 第28-31页 |
| ·界面结合强度的计算 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 超声作用下SU-8胶与金属基底粘附性的实验 | 第33-56页 |
| ·SU-8胶粘附性的超声处理实验 | 第33-49页 |
| ·实验材料与装置 | 第33-39页 |
| ·实验步骤 | 第39-49页 |
| ·实验结果 | 第49-53页 |
| ·结果分析与讨论 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |