表面处理蓝宝石基片对ZnO薄膜性能的影响
| 摘要 | 第1-7页 |
| 引言 | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第8-9页 |
| ·ZnO晶体的基本物理参数 | 第8页 |
| ·ZnO晶体结构 | 第8-9页 |
| ·ZnO的掺杂和能带工程 | 第9-11页 |
| ·ZnO的n型掺杂和p型掺杂 | 第9-11页 |
| ·能带工程 | 第11页 |
| ·ZnO晶体的生长 | 第11-13页 |
| ·外延薄膜生长 | 第11-12页 |
| ·纳米结构的生长 | 第12-13页 |
| ·ZnO的应用 | 第13-14页 |
| ·透明导电电极 | 第13页 |
| ·薄膜晶体管 | 第13-14页 |
| ·纳米发电机 | 第14页 |
| ·蓝宝石基片表面结构 | 第14-16页 |
| 2 薄膜的制备技术与表征方法 | 第16-23页 |
| ·脉冲激光沉积技术 | 第16-18页 |
| ·概述 | 第16-17页 |
| ·基本原理 | 第17页 |
| ·靶材和激光波长对薄膜的影响 | 第17-18页 |
| ·ZnO薄膜的表征方法 | 第18-23页 |
| ·X射线衍射 | 第18-20页 |
| ·光致荧光光谱 | 第20-21页 |
| ·寿命的测量 | 第21页 |
| ·原子力显微镜 | 第21-23页 |
| 3 大气退火蓝宝石基片对ZnO薄膜性能的影响 | 第23-35页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第23-24页 |
| ·结果与分析 | 第24-33页 |
| ·蓝宝石基片表面形貌的分析 | 第24-26页 |
| ·薄膜的形貌和结晶性 | 第26-31页 |
| ·薄膜的光学性能 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 4 氮气退火蓝宝石基片对ZnO薄膜性能的影响 | 第35-42页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第35页 |
| ·结果与分析 | 第35-41页 |
| ·氮气退火蓝宝石基片表面形貌 | 第35-37页 |
| ·薄膜的形貌和结晶性 | 第37-40页 |
| ·薄膜的光学性能 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 种子层退火对纳米ZnO生长的影响 | 第42-50页 |
| ·ZnO的制备 | 第42-43页 |
| ·结果与分析 | 第43-49页 |
| ·退火种子层的表面形貌分析 | 第43页 |
| ·纳米ZnO的表面形貌 | 第43-45页 |
| ·纳米ZnO的结构表征 | 第45-47页 |
| ·蓝宝石基片的摇摆曲线分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
