基于双层微量热计的金属薄膜热容及熔点的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题提出的背景和意义 | 第8-9页 |
| ·比热及熔点的微尺度效应 | 第9页 |
| ·微量热计的研究进展 | 第9-13页 |
| ·论文的主要工作 | 第13-14页 |
| 2 双层微量热计的结构设计与制造 | 第14-25页 |
| ·双层微量热计的结构设计 | 第14-18页 |
| ·微量热计的基本组成 | 第14-15页 |
| ·H型桥式双层薄膜量热计结构设计 | 第15-18页 |
| ·双层微量热计的制造 | 第18-25页 |
| ·双层悬膜的工艺研究 | 第18-21页 |
| ·加工流程设计 | 第21-22页 |
| ·微量热计的检测和测试 | 第22-25页 |
| 3 量热测试系统的搭建 | 第25-37页 |
| ·硬件系统的总体设计 | 第25-27页 |
| ·软件系统的整体设计 | 第27-31页 |
| ·系统框图 | 第28页 |
| ·仪器的连接和配置 | 第28-29页 |
| ·系统控制界面 | 第29-31页 |
| ·信号采集模块的改进与测试 | 第31-37页 |
| ·传输电缆 | 第31页 |
| ·仪用放大电路 | 第31-33页 |
| ·AD数据采集卡 | 第33-37页 |
| 4 微量热计热性能测试与分析 | 第37-48页 |
| ·微量热计测试方法 | 第37-40页 |
| ·脉冲量热法 | 第37-38页 |
| ·弛豫时间法 | 第38-40页 |
| ·温阻特性 | 第40-45页 |
| ·选择标定电流 | 第40-42页 |
| ·温阻系数计算 | 第42-45页 |
| ·稳态功耗特性 | 第45-46页 |
| ·热延迟特性 | 第46-48页 |
| 5 金属薄膜的热容及熔点的测量与分析 | 第48-69页 |
| ·薄膜样品的制备和表征 | 第48-52页 |
| ·薄膜的制备 | 第48-51页 |
| ·XRD分析 | 第51页 |
| ·SEM分析 | 第51-52页 |
| ·双层微量热计有限元热分析 | 第52-58页 |
| ·建立模型 | 第52-54页 |
| ·有限元热分析结果与讨论 | 第54-58页 |
| ·双层微量热计的实验测量与分析 | 第58-65页 |
| ·全载型微量热计金属薄膜热容及熔点的测试 | 第59-63页 |
| ·臂载型微量热计金属薄膜热容及熔点的测试 | 第63-65页 |
| ·误差讨论与分析 | 第65-69页 |
| ·测量误差分析 | 第65-67页 |
| ·系统适用范 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录A 控制界面的G语言代码 | 第73-74页 |
| 附录B 数据处理的M代码 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
