| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 图表目录 | 第14-17页 |
| 1 文献综述 | 第17-32页 |
| ·TiO_2的性质及应用 | 第17-21页 |
| ·TiO_2的性质与结构 | 第17-18页 |
| ·纳米TiO_2的性能 | 第18-19页 |
| ·TiO_2薄膜的光催化原理 | 第19-20页 |
| ·纳米TiO_2薄膜的应用 | 第20-21页 |
| ·TiO_2的制备方法 | 第21-24页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第21-22页 |
| ·物理气相沉积法 | 第22页 |
| ·化学气相沉积法 | 第22-24页 |
| ·介质阻挡放电 | 第24-28页 |
| ·介质阻挡放电原理 | 第24-26页 |
| ·介质阻挡放电分类 | 第26页 |
| ·介质阻挡放电应用 | 第26-28页 |
| ·介质阻挡放电制备TiO_2薄膜的研究现状 | 第28页 |
| ·TiO_2薄膜光催化活性的影响因素 | 第28-30页 |
| ·停留时间对光催化反应的影响 | 第29页 |
| ·光源及光强对光催化反应的影响 | 第29-30页 |
| ·气体湿度对光催化反应的影响 | 第30页 |
| ·污染物浓度对光催化反应的影响 | 第30页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第30-32页 |
| 2 实验装置和实验方法 | 第32-42页 |
| ·大气压射频等离子体制备TiO_2薄膜的实验装置 | 第32-34页 |
| ·TiO_2薄膜的表征 | 第34-35页 |
| ·发射光谱诊断和质谱检测 | 第35-38页 |
| ·发射光谱诊断 | 第35-38页 |
| ·质谱检测 | 第38页 |
| ·TiO_2薄膜的光催化活性评价 | 第38-40页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第40-42页 |
| ·实验试剂 | 第40-41页 |
| ·实验仪器 | 第41-42页 |
| 3 大气压射频等离子体一步制备锐钛矿相TiO_2薄膜 | 第42-56页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·TiO_2薄膜的制备和表征 | 第42-50页 |
| ·TiO_2薄膜的表面形貌和厚度 | 第42-44页 |
| ·TiO_2薄膜的晶体结构 | 第44-45页 |
| ·TiO_2薄膜的UV-Vis光谱和均匀性 | 第45-47页 |
| ·TiO_2薄膜的光催化活性 | 第47-50页 |
| ·沉积条件对TiO_2薄膜光催化活性的影响 | 第50-52页 |
| ·TTIP携带量的影响 | 第50-51页 |
| ·输入功率的影响 | 第51-52页 |
| ·射频等离子体的非热效应 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 4 大气压射频等离子体化学气相沉积TiO_2体系的诊断 | 第56-81页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·大气压射频等离了体化学气相沉积TiO_2体系的发射光谱诊断 | 第56-67页 |
| ·Ar+O_2体系中,气体总流量的影响 | 第56-59页 |
| ·Ar+O_2体系中,O_2分压的影响 | 第59-62页 |
| ·Ar+O_2体系中,输入功率的影响 | 第62页 |
| ·TTIP+Ar+O_2体系中,O_2分压的影响 | 第62-64页 |
| ·TTIP+Ar+O_2体系中,TTIP分压的影响 | 第64-65页 |
| ·TTIP+Ar+O_2体系中,输入功率的影响 | 第65-67页 |
| ·射频电源与kHz电源的发射光谱结果对比 | 第67-71页 |
| ·氧原子谱线相对强度的变化 | 第67-68页 |
| ·氩原子激发温度的变化 | 第68-69页 |
| ·OH振动温度和转动温度的变化 | 第69-71页 |
| ·O_2分压对CH和Ti的谱线的影响 | 第71页 |
| ·TiO_2粉体的制备和沉积机理分析 | 第71-79页 |
| ·TiO_2粉体的制备 | 第73页 |
| ·发射光谱诊断 | 第73-76页 |
| ·质谱检测 | 第76-79页 |
| ·机理分析 | 第79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 5 TiO_2薄膜的光催化反应动力学研究 | 第81-101页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·TiO_2薄膜的制备和表征 | 第81-84页 |
| ·TiO_2薄膜的晶型 | 第81页 |
| ·TiO_2薄膜的表而形貌和厚度 | 第81-82页 |
| ·TiO_2薄膜的均匀性 | 第82-84页 |
| ·TiO_2薄膜光催化氧化甲醛反应速率的影响因素 | 第84-96页 |
| ·同一入射光强下TiO_2薄膜的光催化反应速率 | 第84页 |
| ·紫外光源和入射光强的影响 | 第84-89页 |
| ·湿度的影响 | 第89-94页 |
| ·甲醛初始浓度的影响 | 第94-96页 |
| ·TiO_2薄膜的表观量子效率 | 第96-98页 |
| ·本章小结 | 第98-101页 |
| 6 结论与展望 | 第101-105页 |
| ·结论 | 第101-104页 |
| ·展望 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-115页 |
| 攻读傅士学位期间科研项目及科研成果 | 第115-116页 |
| 创新点摘要 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 作者简介 | 第118-119页 |
