化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 引言 | 第8-11页 |
| 2 太阳能电池表面钝化 | 第11-20页 |
| ·表面钝化工艺简介 | 第11-13页 |
| ·表面钝化工艺的发展 | 第11-12页 |
| ·钝化硅表面的结构和特性 | 第12-13页 |
| ·钝化工艺在太阳能电池领域的应用 | 第13-15页 |
| ·太阳能电池表面钝化 | 第14-15页 |
| ·晶体硅电池的背面钝化方法 | 第15页 |
| ·钝化膜简介 | 第15-20页 |
| ·SiO_2 | 第15-17页 |
| ·a-SiN_x:H | 第17页 |
| ·A-Si：H | 第17-19页 |
| ·Al_2O_3 | 第19-20页 |
| 3 实验 | 第20-26页 |
| ·实验概述 | 第20-21页 |
| ·实验细节 | 第21-26页 |
| ·制备黑硅 | 第21-22页 |
| ·配制生长液 | 第22-24页 |
| ·沉积Al_3O_2前驱物 | 第24页 |
| ·退火以激活Al_2O_3钝化膜 | 第24-26页 |
| 4 结果与讨论 | 第26-40页 |
| ·化学液相沉积氧化铝薄膜的生长特性 | 第26-28页 |
| ·化学液相沉积三氧化二铝的表面形貌及微结构 | 第28-29页 |
| ·退火温度对Al_2O_3晶型的影响 | 第29-30页 |
| ·钝化膜对衬底反射率的影响 | 第30-32页 |
| ·钝化膜的电学特性 | 第32-35页 |
| ·钝化效果 | 第35-40页 |
| 结论与展望 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-46页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
