| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-28页 |
| ·立题背景 | 第9-11页 |
| ·多晶硅材料制备工艺 | 第11-21页 |
| ·化学法制备多晶硅材料 | 第11-14页 |
| ·冶会法的发展历程 | 第14-16页 |
| ·工业硅生产及硅中杂质的性质 | 第16-18页 |
| ·冶金法制备多晶硅的工艺 | 第18-21页 |
| ·去除杂质B工艺的研究 | 第21-27页 |
| ·吹气氧化精炼 | 第21-22页 |
| ·等离子氧化精炼 | 第22页 |
| ·合金精炼法 | 第22-25页 |
| ·造渣精炼法 | 第25-27页 |
| ·本文研究的主要目的及内容 | 第27-28页 |
| 2 Al-Si-Sn三元合金体系提纯多晶硅 | 第28-44页 |
| ·实验的理论分析 | 第28-33页 |
| ·元素间的相互作用力 | 第28页 |
| ·元素的平衡分配系数 | 第28-29页 |
| ·合金元素Al和Sn的性质 | 第29-30页 |
| ·杂质的逆向固溶特性和扩散系数 | 第30-33页 |
| ·实验设备、实验材料与实验方法 | 第33-35页 |
| ·实验设备 | 第33-34页 |
| ·实验材料与实验方法 | 第34-35页 |
| ·实验结果与讨论 | 第35-43页 |
| ·Sn和B相互作用系数测定的实验结果与讨论 | 第35-39页 |
| ·采用 Al-Si-Sn合会体系时对杂质B分凝研究的实验结果与讨论 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 Si-Sn合金造渣提纯多晶硅 | 第44-58页 |
| ·实验理论及实验参量分析 | 第44-47页 |
| ·实验设备与实验方法 | 第47-49页 |
| ·实验设备 | 第47页 |
| ·实验方法 | 第47-49页 |
| ·实验结果与讨论 | 第49-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |