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高热导石墨衬底上氧化锌薄膜的超声喷雾热解法生长研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
引言第9-10页
1 绪论第10-24页
   ·ZnO材料的基本特性和制备方法第10-19页
     ·ZnO材料的基本特性第10-12页
     ·ZnO材料的制备方法介绍第12-19页
   ·ZnO材料的应用前景介绍第19-21页
   ·ZnO薄膜在大功率器件等应用领域存在的主要问题第21-23页
   ·本论文的主要研究内容第23-24页
2 本论文采用的制备与表征方法介绍第24-34页
   ·超声喷雾热解法生长ZnO薄膜技术简介第24-26页
     ·超声喷雾热分解法的简要介绍及发展历史第24-25页
     ·超声喷雾热分解法的原理及装置第25-26页
   ·本论文采用的表征方法第26-34页
     ·X射线衍射第26-28页
     ·扫描电子显微镜第28-29页
     ·光致发光谱第29-30页
     ·透射谱测量第30-32页
     ·其他常用表征方法第32-34页
3 ZnO薄膜/石墨结构的形成和性能表征第34-46页
   ·引言第34页
   ·实验过程第34-35页
   ·实验结果与分析第35-45页
     ·X射线衍射分析第35-36页
     ·表面形貌分析第36-38页
     ·光学性质研究第38-45页
   ·小结第45-46页
结论第46-47页
参考文献第47-51页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第51-52页
致谢第52-54页

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