| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-42页 |
| ·研究背景 | 第12-17页 |
| ·世界能源危机与可再生能源开发 | 第12-14页 |
| ·我国太阳能资源与光伏产业的发展 | 第14-16页 |
| ·太阳电池的发展 | 第16-17页 |
| ·太阳能级多晶硅与冶金法 | 第17-24页 |
| ·传统方法制备太阳能级多晶硅 | 第17-19页 |
| ·冶金法制备太阳能级多晶硅 | 第19-22页 |
| ·冶金法的未来 | 第22-24页 |
| ·冶金法提纯技术 | 第24-29页 |
| ·金属杂质的去除工艺 | 第25-27页 |
| ·P杂质的去除工艺 | 第27-28页 |
| ·B杂质的去除工艺 | 第28-29页 |
| ·造渣精炼 | 第29-41页 |
| ·造渣精炼提纯多晶硅究现状 | 第29-30页 |
| ·熔渣的组成和结构 | 第30-34页 |
| ·熔渣的物理化学性质 | 第34-41页 |
| ·本文的研究目的及内容 | 第41-42页 |
| 2 实验设备及材料评价方法 | 第42-51页 |
| ·试样熔炼设备 | 第42-45页 |
| ·六面体石墨电阻炉 | 第42-43页 |
| ·中频感应加热炉 | 第43-45页 |
| ·其他熔炼炉 | 第45页 |
| ·样品处理设备 | 第45-47页 |
| ·样品检测设备 | 第47-51页 |
| ·电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) | 第47页 |
| ·导电型号测试仪 | 第47-48页 |
| ·四探针电阻率测试仪 | 第48-51页 |
| 3 氧化酸洗提纯 | 第51-68页 |
| ·氧化酸洗提纯原理 | 第51-53页 |
| ·实验材料和方法 | 第53-56页 |
| ·粉体硅的氧化酸洗 | 第54页 |
| ·块状硅的氧化酸洗 | 第54-56页 |
| ·实验结果与讨论 | 第56-66页 |
| ·粉体硅的酸洗 | 第56-61页 |
| ·块体硅的氧化酸洗 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 4 真空造渣精炼 | 第68-88页 |
| ·真空造渣精炼理论支撑 | 第68-71页 |
| ·实验材料和方法 | 第71-75页 |
| ·影响造渣精炼提纯效果的因素 | 第75-86页 |
| ·碱度对L_B的影响 | 第75-79页 |
| ·硅渣比对L_B的影响 | 第79-81页 |
| ·定向凝固工艺的影响 | 第81-84页 |
| ·二次造渣对提纯效果的影响 | 第84-85页 |
| ·氮化硅涂层的脱模效果 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 5 大气条件造渣精炼 | 第88-110页 |
| ·大气条件造渣精炼理论支撑 | 第88-90页 |
| ·实验材料与方法 | 第90-92页 |
| ·实验结果与分析 | 第92-108页 |
| ·碱度对L_B的影响 | 第92-98页 |
| ·熔炼时间对L_B的影响 | 第98-101页 |
| ·B杂质去除过程的限制条件 | 第101-105页 |
| ·添加助济剂(CaF_2)对L_B的影响 | 第105-106页 |
| ·造渣精炼可行性分析 | 第106-108页 |
| ·小结 | 第108-110页 |
| 结论 | 第110-112页 |
| 创新点摘要 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-119页 |
| 附录A Al_2O_3-CaO-SiO_2三元相图 | 第119-120页 |
| 附录B Si-B相图 | 第120-121页 |
| 附录C 硅中主要杂质的分凝系数 | 第121-122页 |
| 附录D 硅中主要杂质的化学能及导电类型 | 第122-123页 |
| 附录E 硅及硅中的B杂质 | 第123-125页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文情况 | 第125-126页 |
| 作者简介 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |