| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·研究现状概述 | 第10-14页 |
| ·AlGaN/GaN HEMT 材料国内外研究现状以及 HEMT 发展历程 | 第10-13页 |
| ·微加速度计的发展现状与趋势 | 第13-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 AlGaN/GaN HEMT 加速度计的理论基础及静态测试分析 | 第15-19页 |
| ·AlGaN/GaN HEMT 微悬臂梁加速度计的工作原理 | 第15页 |
| ·AlGaN/GaN HEMT 微悬臂梁加速度计的静态特性标定 | 第15-17页 |
| ·加速度计的离心机实验 | 第15-17页 |
| ·静态加压试验 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-19页 |
| 第三章 基于 AlGaN/GaN HEMT 微悬臂梁器件的压阻系数测试和残余应力分析 | 第19-29页 |
| ·AlGaN/GaN 基 HEMT 微加速度计的压阻系数测试 | 第19-22页 |
| ·微结构压阻系数测试 | 第19-21页 |
| ·微结构压阻系数的温度特性 | 第21-22页 |
| ·AlGaN/GaN 基 HEMT 微加速度计的残余应力分析 | 第22-28页 |
| ·残余应力的影响分析 | 第22-24页 |
| ·残余应力的测试分析 | 第24-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 AlGaN/GaN 基 HEMT 微加速度计的结构优化设计及有限元分析 | 第29-50页 |
| ·微加速度计的优化设计 | 第29-34页 |
| ·微加速度计弹性结构的优化设计 | 第29页 |
| ·微加速度计新旧结构力学特性比较 | 第29-34页 |
| ·ANSYS 的技术基础 | 第34页 |
| ·新旧结构仿真比较 | 第34-49页 |
| ·应力仿真比较 | 第34-45页 |
| ·模态仿真比较 | 第45-48页 |
| ·参数比较 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 总结和展望 | 第50-51页 |
| 1、工作总结 | 第50页 |
| 2、工作展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
