热场材料在真空定向提纯设备DPS-650中的应用研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
1 绪论	第7-14页
·冶金法产业背景	第7-10页
·真空定向提纯设备市场分析	第10页
·热场材料在定向提纯设备中的作用及应用现状	第10-12页
·本论文研究内容	第12-14页
2 定向提纯设备热场情况分析	第14-21页
·定向凝固技术原理与发展	第14-16页
·定向凝固技术在多晶硅中的应用	第16-17页
·多晶硅定向凝固设备的热场构建	第17-19页
·定向提纯设备热场需关注的重要问题	第19-21页
3 DPS-650热场材料的选择	第21-32页
·热场材料的分类及选用原则	第21-23页
·石墨材料性能	第23-27页
·石墨材料的热学性能	第23-25页
·石墨材料的电学性能	第25页
·石墨材料的化学性能	第25-27页
·石墨材料的机械性能	第27页
·国内外石墨材料差异分析	第27-32页
4 DPS-650热场的结构设计及强度校核	第32-41页
·石墨发热体结构设计	第32-34页
·石墨发热体的传热分析	第32页
·发热体结构的设计	第32-34页
·石墨坩埚的结构设计	第34-36页
·托盘组件的结构设计	第36-39页
·石墨材料采购原则及建议方案	第39-41页
结论	第41-43页
参考文献	第43-45页
致谢	第45-46页