| 摘要 | 第1-11页 |
| Abstract | 第11-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第13-18页 |
| ·大面积纳米压印光刻技术国内外研究现状 | 第18-23页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·本文主要的研究内容 | 第23-25页 |
| ·复合纳米压印光刻机的总体设计 | 第23-24页 |
| ·大面积纳米压印揭开式脱模建模与模拟 | 第24页 |
| ·压印模具结构设计与优化 | 第24页 |
| ·模具进给系统 | 第24-25页 |
| 第2章 复合纳米压印光刻机的总体设计 | 第25-41页 |
| ·复合纳米压印工艺原理 | 第25-26页 |
| ·复合纳米压印工艺流程 | 第26-28页 |
| ·复合纳米压印光刻机的机械结构设计 | 第28-35页 |
| ·压印机构的设计 | 第28-29页 |
| ·承片机构的设计 | 第29-31页 |
| ·气动系统的设计 | 第31页 |
| ·模具进给系统的设计 | 第31-33页 |
| ·机架的设计 | 第33-35页 |
| ·复合纳米压印光刻机控制系统的设计 | 第35-39页 |
| ·位移台模块 | 第35-37页 |
| ·气动系统模块 | 第37-38页 |
| ·模具进给系统模块 | 第38页 |
| ·曝光模块 | 第38页 |
| ·复合纳米压印光刻机工作流程 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章 大面积纳米压印揭开式脱模建模与模拟 | 第41-57页 |
| ·揭开式脱模理论建模 | 第42-51页 |
| ·揭开式建模数值模拟 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第4章 压印模具结构设计与优化 | 第57-77页 |
| ·压印模具结构设计 | 第57-58页 |
| ·模具图形的优化 | 第58-74页 |
| ·微纳结构表面反射特性分析方法概述 | 第58-62页 |
| ·基于 FDTD 的梯度截面亚波长微纳结构模拟计算 | 第62-74页 |
| ·模具结构优化结果 | 第74页 |
| ·模具的制造 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 模具进给系统 | 第77-87页 |
| ·模具进给系统功能分析 | 第77页 |
| ·模具进给系统设计 | 第77-81页 |
| ·常见的张力控制方式 | 第77-78页 |
| ·模具进给系统的总体设计 | 第78-81页 |
| ·模具进给系统主要功能子模块的设计和计算 | 第81-85页 |
| ·放卷端转动惯量的计算及放卷电机的选择 | 第81-84页 |
| ·收卷端转动惯量的计算及收卷电机的选择 | 第84-85页 |
| ·实验平台搭建 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第6章 结论与展望 | 第87-89页 |
| ·结论与创新点 | 第87-88页 |
| ·未来展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研成果 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95页 |