电容耦合等离子体中离子能量分布的研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第1章 引言	第8-17页
·研究离子能量分布的意义	第8-10页
·研究现状和存在的问题	第10-16页
·本论文的主要研究内容	第16-17页
第2章 电荷交换反应对离子能量分布的影响机制	第17-39页
·解析模型	第17-27页
·离子运动方程	第17-18页
·空间均匀射频电场中的离子能量	第18-20页
·碰撞鞘层模型	第20-23页
·离子的能量和通量	第23-27页
·实验系统	第27-28页
·模型结果	第28-37页
·离子能量分布中多峰结构的来源	第28-32页
·与实验和模拟结果的对比	第32-36页
·解析模型的局限性	第36页
·利用离子能量分布测量电子密度的方法	第36-37页
·本章小结	第37-39页
第3章 碰撞诱导分解反应对离子能量分布的影响机制	第39-57页
·模型分析	第39-49页
·CF4等离子体鞘层内的主要碰撞过程	第39-47页
·鞘层模型	第47-48页
·离子能量分布的计算	第48-49页
·实验系统的标定	第49-51页
·模型和实验结果比较	第51-56页
·本章小结	第56-57页
第4章 双频放电中的离子能量分布	第57-68页
·解析模型	第57-64页
·空间均匀多频电场中的离子能量	第57-59页
·双频碰撞鞘层模型	第59-63页
·双频放电中的离子能量和通量	第63-64页
·解析模型与PIC/MCC模拟的比较	第64-67页
·本章小结	第67-68页
第5章 脉冲放电中的离子能量分布	第68-91页
·实验装置	第68-73页
·脉冲功率系统	第69-72页
·离子能量分布测量系统的时间分辨率	第72-73页
·微波干涉仪系统	第73页
·实验结果	第73-89页
·脉冲重复频率的影响	第74-82页
·峰值功率的影响	第82-85页
·气压的影响	第85-89页
·本章小结	第89-91页
第6章 结论	第91-94页
·本文的主要研究结果、局限性和进一步工作	第91-92页
·本文的创新点	第92-94页
参考文献	第94-101页
致谢	第101-103页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第103-104页